1第六章感光性高分子1概述感光性高分子是指在吸收了光能后,能在分子内或分子间产生化学、物理变化的一类功能高分子材料
而且这种变化发生后,材料将输出其特有的功能
从广义上讲,按其输出功能,感光性高分子包括光导电材料、光电转换材料、光能储存材料、光记录材料、光致变色材料和光致抗蚀材料等
2其中开发比较成熟并有实用价值的感光性高分子材料主要是指光致抗蚀材料和光致诱蚀材料,产品包括光刻胶、光固化粘合剂、感光油墨、感光涂料等
本章中主要光致抗蚀材料和光致诱蚀材料
感电子束和感X射线高分子在本质上与感光高分子相似,故略作介绍
光导电材料和光电转换材料归属于导电高分子一类,本章不作介绍
第六章感光性高分子3所谓光致抗蚀,是指高分子材料经过光照后,分子结构从线型可溶性转变为网状不可溶性,从而产生了对溶剂的抗蚀能力
而光致诱蚀正相反,当高分子材料受光照辐射后,感光部分发生光分解反应,从而变为可溶性
如目前广泛使用的预涂感光版,就是将感光材料树脂预先涂敷在亲水性的基材上制成的
晒印时,树脂若发生光交联反应,则溶剂显像时未曝光的树脂被溶解,感光部分树脂保留了下来
反之,晒印时若发生光分解反应,则曝光部分的树脂分解成可溶解性物质而溶解
第六章感光性高分子4作为感光性高分子材料,应具有一些基本的性能,如对光的敏感性、成像性、显影性、膜的物理化学性能等
但对不同的用途,要求并不相同
如作为电子材料及印刷制版材料,对感光高分子的成像特性要求特别严格;而对粘合剂、油墨和涂料来说,感光固化速度和涂膜性能等则显得更为重要
第六章感光性高分子5光刻胶是微电子技术中细微图形加工的关键材料之一
特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展,更是大大促进了光刻胶的研究和应用
印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域
1954年首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸酯就是首先用于印刷技术,以后才用于电子工业的
与传统的制版工业相比,用光