""$年%月电子显微学报
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)"%扫描静电力显微镜及其电荷捕获-释放技术王志勇，张鸿海，鲍剑斌，郭文明，汪学方（华中科技大学机械科学与工程学院，武汉
）摘要：介绍扫描静电力显微测量及用其实现电荷捕获释放的技术现状、发展动向，以及关键技术的一些最新成果
前者已被广泛应用于测量半导体表面电荷密度分布、表面电势以及铁电材料铁电体结构的研究中；后者可望用于研制速度和存贮容量都比现在提高成千上万倍的量子器件
最后，本文探讨了基于微晶振的静电力显微测量的关键技术及其解决方案
关键词：扫描探针显微镜；扫描力显微镜；静电力显微镜；电荷存储中图分类号：0*$%，0*
文献标识码：2收稿日期：
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"扫描静电力显微测量技术及其应用345公司瑞士苏黎世实验室的64788789等人研制成功的扫描隧道显微镜（:;(78957;
’@;’A>，:05），使人类第一次实时的观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物理化学性质
至此，建立在"+$至$""8B尺度上的纳米科技得到了迅速发展
在:05基础上发展起来的扫描探针显微镜（:;57;
’@;’A>，:C5）家族，近年来已发展为成熟的具有原子级分辨率的表面微观形貌测量工具，不仅可用来测量导体，而且可用于绝缘体，为人类提供了一种认识微观世界有效工具
（$）可使用静电力显微镜（E(>;F
’@F57;
’@;’A>，EG5）来测量样品局部电特性，如表面电势、表面电荷以及铁电材料掺杂结构［$，
已经应用于微电子元器件、超大规模集成电路、微电子机械系统以及纳米材料的微观电特性的研究
例如，利用高灵敏度的静电
