微光像增强器钽一吸气剂性能分析钛VIP免费

{==第2O卷第3期I鲫9年应用光学Vo【20．N0．319g9微光像增强器钽一钛吸气剂性能分析瞅⋯安710100)：V／／4々c西安应用光学研究所，陕西西安f，f叶摘要：结合微光像增强器制管]’艺，对二代檄光管所用的钽、钛吸气剂性能链行研究。结果。22≥l丧明，合地选择唆气激活T．艺，对提高檄光像增强器总体性能和器件寿命是很重要的。关健词：堂垄堡塑望量；皇：竺型；里l兰中图分类号：TN223：TN1d文献标识码：A文章编号：1002—2082(1999)030007—04在微光像增强器的研究中，为了保证器件的使用寿命．在管子内部均要装入吸气剂材料第二代微光像增器中除要求所用吸气剂对H、HO、CO、CO、O2等气体有大的吸气量、高吸气速率、低蒸气压和化学性稳定外．还要求吸气剂不掉粉末．不蒸散钽钛材料是精足微光管要求的一种常用吸气剂。在第二代微光像增强器研制中，对国内钽钛吸气剂采用荷兰吸气剂的激活工艺，发现国产吸气剂有蒸散现象．导致光电阴极灵敏度F降．视场出现暗斑等现象。本文针对上述问题进行分析。j实验装置和过程吸气剂性能测试、分析的准确度主要取决于分析装置、分析手段和技术水平我们建立的删试分析系统如图l所示它主要由无油超高复合泵和带防返油装置的扩散泵及分析器组成。其特点是：1．吸气剂试样室采用无油超高系统，真空度高，取样准确，系统对样品无油污染。2．试样室与分析室之间采用微调阀．气体流量控制方便．准确度高。3．分析室抽气系统采用有水玲、液氯冷阱防返油装置的油扩散泵，不需考虑抽气系统对气体排气的选择性。测试、分析所用的吸气剂是按实际管中使用尺寸而模拟的，其直径为0．3ram，长度为20ram经清冼．真空除气后与1mm的可伐杆点焊，然后与玻璃封接(接到试样室上)。在实际应用中，由于微光管结构的限制．吸气剂除气或激活都是以电流大小来控制的。吸气剂温度的测量是用镍铬镍铜热电偶来实现的钽一钛吸气剂装入试样室后．使试样室真空度达1．5×10Pa开V阀，先对试样室收稿日期：l998-II一02作者简介：椽江涛(1955一)，男．陕西省月风人，西安应用光学研究所高级工程师。维普资讯http://www.cqvip.com进行本底残气分析．然后对试样室进行360C烘烤．保温6h，降温后室温下试样室真空度可达4×106Pa；关V，开Vs，用扩散泵再对试样室排气．使真空度稳定在4×l0Pa：关v．使试样室静态真空度稳定到1．5^l0Pa；给吸气剂加电流．同时用双笔自动计录对应电流下的温度和压强变化，分析P—T曲线，求出吸气剂的吸气量和吸气速率。在吸气剂工作温度不同状态下，微开v．使分析室真空度稳定在6×l0-sPa，用四极分析器谱出相应温度下的谱图，通过质谱分析，求出吸气剂不同工作温度下的吸气效果。图1测试分析装置【一复台泵；2一水冷阱：3一液氪阱；热偶计；5一气瓶；6一热电偶；7吸气剂I8胀享；9一捎油阱；V一V一低真空阀；V一一V6一高真空阀{VT、VB一超高阀；vv．0压阀；v一分析器；V一试样室{R：P一机械泵；D：P一油扩散泵2测量分析结果对两家吸气剂性能反复进行测试，结果如表l所示。可以看出，国产吸气剂与荷兰吸表l钽一钛吸气剂性能I尉量结果吸气速率吸气量cm／s-cmcm·TOrr／cm国产l_50l荷兰7．706气剂吸气速率不同．但吸气量相近。经过对钽8膨减2P一钛吸气剂材料进行电子探针分析后．得到造成吸气剂吸气速率不同的原因，结果列于表2。差别是由于材料组分比例不同所致。表2钛一钽材料组分分析结果TiTaA】国产86．1l39荷兰22．669．4蟛8钽钛吸气剂在不同状态下，总压强随加热温度的变化特性而变化(如图2所示)。从图2中可看出，在H、H2O、O2、CO、CO的混合维普资讯http://www.cqvip.com-气体中，两种吸气剂总压强与温度的变化特性基本相同10020030040050O6O07008O09001000T，C图2钽一钛吸气剂压强随温度的变化从室温总压强7．j×l0。Pa的残气谱图图2曲线(1)可知，H的分压最低，而HO、O、CO、CO的分压与无吸气剂时的分压基本相同。室温到200。C时，国产吸气剂放气较快，总压上升较多。这主要是由于吸气剂加热后表面气体的脱附所致。200—500。C时，总压强急剧下降．这时吸气剂吸气速率最大，吸气剂大量吸收CO、CO气体。温度升到500—700。C时，吸气剂将所吸气体全部放出。7...