一、驻极体表面电荷及其测量1
驻极体表面电荷异同异同:同号电荷:异号电荷:2
驻极体的电场方程驻极体材料的介电常数为驻极体材料内电场为E材驻极体材料的厚度为L驻极体材料的表面电荷密度为空气隙内电场为E气空气隙的厚度为
上电极上电荷密度为0L)El气L=(-V)/(+l计算可得:0L)El材VL=(+)/(+0L)iVl0L=()/(+E气E材上电极下电极ilL3
表面电荷的测量a
接触感应法00L)/VVlL0电极(=/(1)lL电极=(1)lL电极=(薄膜)(Ll+L/)lL电极=(厚块)/SVQC000SSSLLCVLS000L/SlVlLVELLlLl材=0LSV=b
表面电位Vs与表面电荷的关系L上电极驻极体下电极QCl电极VsL当l>>L,V=0921
9910/SCcmV(2
25)10m15m4F921
7710/SCcmV921
1810/SCcmV(2
01)921
3310/SCcmV10m例:15mc
非接触法测Vsi)表面电位法大面积平均(平均)小面积分布(均匀值)上式振动式旋转式ii)抵消法校正电压100VV外激励输入驻极体输出=0时,Vs=V外输出000LE()/()LVl电极气==00,0,/sEVLV外电极气4
不应混淆的几个概念:驻极体表面电位:不满足时的驻极体表面电位:驻极体话筒等效偏压:电容话筒极化偏压:前置电路阻抗变换器的直流偏压用表面电位计测得是VS0,VG与他们均无关系0SVSVl>>LBVBVGV0BVBSVV0SSVVlLl==五、ECM设计中的有