烧结炉作业指导书包头市山晟新能源有限责任公司受控状态实施日期2010年5月1日适用多晶电池分厂实施责任者李宏克1.目的确保烧结工艺处于稳定、受控状态。2.适用范围适用于印刷后硅片在烧结炉中的烧结过程。3.职责3.1本作业指导书由技术部负责编写和修订；3.2所有操作人员必须严格按照该文件规定进行操作。4.作业准备4.1劳保用品：穿戴好净化分体服、一次性手套、一次性口罩、帽子、布鞋。4.2确认设备通电正常、冷却水正常、压缩空气气压正常、排风正常。5.作业步骤5.1工艺准备该作业由组长执行！5.1.1开机：具体步骤请参考《烧结炉维护操作规程》。5.1.2设备确认检查设备和PC上是否有故障显示（红色灯或/和警告窗口）；确认冷却水温是否正常。确认设备运行正常方可执行后续作业；确认急停按钮已经弹起。若设备有故障显示，应立即汇报班长。5.1.3确认工艺参数每班接班后，生产工序长需对工艺参数进行点检，发现异常及时报告工艺人员，如无异常，将点检结果填写于《烧结工艺参数点检表》中，见附件一。5.2工艺启动，该作业由组长执行！5.2.2实际参数确认等待参数：速度、温度达到稳定后；确认实际参数在设定的区间内（警示灯转为绿色）。5.3硅片流入5.3.1放入预烧片开机和设定温度修改后，在正常硅片流入前，放入两片预烧片（从低效片中取出的电池片），5.3.2烧结工艺确认在放入预烧片后，流入印刷完成后的硅片5片。由工程师确认烧结工艺正常。5.3.3硅片正常流入待烧结工艺确认后，印刷完电极后的电池片自动流入烧结炉，无需人工操作。5.4电池片流出取出预烧片，重复使用。观察流入电池片的位置，如果发现电池片偏移，手动移正，保证流入硅片位置无偏移。取出烧结过程中破损电池片；定时对流出电池片做外观检查。注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。作成审核批准变更内容：谭旺文件编号版/次总4页A/0第1页烧结炉作业指导书包头市山晟新能源有限责任公司受控状态实施日期2010年5月1日适用多晶电池分厂实施责任者李宏克如果分选仪停止，用手取出流出的电池片，防止由于电池片堵塞造成的破片。发现连续异常及时通知丝网印刷工序操作人员。5.5关机该作业由组长执行！5.5.1确认烧结炉中所有加工硅片已经流出；5.5.2关机：具体步骤请参考《烧结炉维护操作规程》。6.自检该作业由组长与操作人员一起执行！操作人员在流出硅片检测过程中，对硅片进行外观自检。自检要求如下所示：6.1表面检验参考《单晶硅太阳电池企业标准》检测烧结后电池片正面和背面，无表面外观问题；翘曲度符合检测标准。6.2破片检验要求硅片没有裂片、没有明显裂纹、崩边、缺角。6.3烧结温度变更记录烧结温度做改动时，在《工艺参数变更记录表》作出详细记录。6.4工艺参数表温区温区1温区2温区3温区4温区5温区6温区7温区8温区9冷却水压力/Mpa带速/rpm温度/℃300±15320±15340±15380±20480±25540±25650±30820±40850±400.25~0.4543±2气流量40±1045±1025±1015±1020±1015±510±515±550±10各温度设定值与实际值偏差要求在±5℃。7.异常处理7.1设备出现故障信号（红灯显示），组长应立即报告班长，并通知丝网印刷工序停止印刷。7.2工艺出现异常，如破片率高、连续出现外观问题，组长立即通知丝网印刷停止印刷，通知班长和工程师。注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。作成审核批准变更内容：谭旺文件编号版/次总4页A/0第2页烧结炉作业指导书包头市山晟新能源有限责任公司受控状态实施日期2010年5月1日适用多晶电池分厂实施责任者李宏克8.相关文件《单晶硅太阳电池企业标准》9.安全注意项9.1非该工序生产、工艺和维护人员不得对设备进行操作、拆卸和改装。9.2设备运行时禁止打开，拆卸安全门。9.3在炉体温度降到50℃下之前，禁止对设备内部做任何操作。9.4烧结炉内有硅片时禁止降温。10.记录表格《工艺参数变更记录表》《烧结工艺参数点检表》更改记录版次条款更改内容说明更改日期更改人A/15.1.3确认工艺参数增加点检表样表，见附件一2010-6-4臧其军注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。作成审核批准变更内容：谭旺文件编号版/次总4页A/0第3...
