CleaningTechnology洗净技术洗净技术ChinaCleaningChinaCleaning《技术·技术交流》简介通过对清洗技术的深入交流与探讨，进一步加强科研与实践的密切合作，从而促进我国清洗行业健康快速的发展。来稿要求文章内容以技术为核心,突出其实践性和可操作性,并具有严密的科学理论依据和较强的行业针对性。责任编辑：舒心电话：010-68207886/92/96/97/99转8013传真：010-68207893E-mail:sxsx3737@sohu.comeditor@ccetca.com技术交流第2卷第4期2004年4月Vol.2No.4Apr.20041．CSTN-LCD与彩色滤光膜目前，CSTN-LCD产品的总体发展趋势是高密度、高清晰度、低成本。与其它LCD产品相比，后光源+彩色滤光膜的产品比较容易取得理想的效果。所谓彩色滤光膜就是在LCD的背光源前的基板上以1∶1的比率配置R(红)、G(绿)、B(蓝)三液晶显示器詹前贤吴永俊（汕头超声显示器有限公司，广东汕头，515041）摘要由于LCD产品的薄、轻、省电等特征，在各个领域都受到广泛使用，随着人们对高显示信息、高显示质量和显示全彩化的要求，在一定视域内，要求彩色STN液晶显示器具有更多更密的象素，势必要求显示电极图形的制作越来越精密。本文将通过对CSTN-LCD电极图形制作流程和部分实用物理清洗方法的介绍，说明电极图形制作中ITO基板清洗的重要性。关键词ITO电极图形物理清洗方法刷洗超声波清洗高压水清洗HPMJ清洗UV光清洗中图分类号TN873.+93文献标识码A文章编号1672-2248(2004)04-0016-06的ITO基板清洗技术图形制作中电极ChinaCleaning种象素，其构成示意图见图1（a）。作为比较，图1（b）表示了一般的铟锡氧化物导电膜（ITO）玻璃基板。制作彩色滤光膜时，在玻璃基板上并列印刷RGB象素，根据需要，甚至可以在各象素之间留有黑色点阵。詹前贤(1973－),男,1997年毕业于厦门大学电子工程系电子工程专业。现任汕头超声显示器有限公司制造部工艺技术室主任。图1（a）带有彩色滤光膜的ITO玻璃基板16技术CleaningTechnology洗净技术洗净技术第2卷第4期2004年4月Vol.2No.4Apr.2004CSTN-LCD产品的彩色滤光膜是在低方阻的ITO膜下成膜，之后再完成ITO层的溅射成膜和电极图形制作。因此，对彩色滤光膜的耐热性、表面平滑性有很高的要求。彩色滤光膜的制作工艺与ITO电极图形的制作有一些相似的地方，但前者的工艺要比后者复杂和精密得多，需要用到专业的设备和技术。所以，彩色滤光膜的制作是由专业的制造厂家来完成的。LCD制造厂家根据自己设计需要将定制的带有彩色滤光膜的ITO玻璃基板购入后，再进行彩色LCD的制作。从电极图形的制作流程上讲，黑白型和彩色型除了电极图形的制作精细度不同及采用的玻璃基板不同（彩色型其中一片带有彩色滤光膜）外，基本上是相似的。2．ITO电极图形制作流程CSTN-LCD电极图形制作工艺，即在玻璃基板上形成ITO电极图形的流程一般分为基板清洗，感光胶涂布，感光胶预固化，紫外曝光，显影，感光胶后固化，蚀刻，退膜8个过程。为了提高作业的良品率和生产效率，这8个过程采用了流水线生产模式，并且玻璃的传送方式采用了枚叶式方式。流程示意图如图2所示。根据目前的STN-LCD电极图形工艺，黑白型STN-LCD（B/WSTN-LCD）产品最小线宽/线间距要求达到70μm/15μm，CSTN-LCD产品最小线宽/线间距要求达到60μm/8μm，而电极引线部分最小线宽/线间距的设计更是要求达到8μm/8μm，制作精度最高要求达到±1μm。因此对制作电极图形的ITO玻璃基板的清洗,要求能达到除去1μm以上的粒子和所有的有机、无机化学物质及污迹、水迹等污染物。同时，要求清洗后的玻璃基板有良好的亲和性，使得涂胶后，感光胶与基板之间有良好的接合性，从而保证电极图形的制作精度。所以，清洗的重要性和难度是显而易见的。基于这种工艺要求，需要有一个稳定的高洁净度的生产环境。整个制作过程要求在高洁净度的无尘净化室内进行，生产线局部洁净度要求在100级以下。对进入净化室的工作人员要求穿戴专用的洁净工作服、口罩、手套等，并经过严格的风淋除尘、洗手后方可进入。使用的化学试剂要求电子级别的高纯度药品，清洗用水要求使用16MΩ·cm超纯水，使用洁净干燥（0.1μm以下过滤，露点温度-40℃以下）压缩空气进行脱水，等...
