各种光学干涉仪课件目录CONTENTS01光学干涉仪概述定义与特点定义光学干涉仪是一种利用光的干涉现象来测量物理量的仪器
特点高精度、高灵敏度、非接触测量、宽测量范围
工作原理干涉现象当两束或多束相干光波在空间某一点叠加时,光波的振幅会发生变化,产生加强或减弱的现象
干涉仪工作原理通过分束器将一束光分成两束或多束相干光波,分别经过不同的路径后再次相遇,产生干涉现象
通过测量干涉现象的特性,可以推导出被测物理量的值
分类与比较分类根据不同的分类标准,可以将光学干涉仪分为多种类型,如根据干涉仪的测量方式可分为零差干涉仪和外差干涉仪;根据干涉仪的测量对象可分为长度干涉仪、角度干涉仪和光学表面形状干涉仪等
比较不同类型的干涉仪各有优缺点,适用于不同的应用场景
例如,零差干涉仪结构简单、测量精度高,但抗干扰能力较差;外差干涉仪抗干扰能力强、测量范围广,但结构复杂、调整难度较大
02Michelson干涉仪工作原理光的波动性01光在传播过程中会形成波前,当两个波前相遇时,它们会相互叠加
当波前同相时,光强增强;反相时,光强减弱
干涉现象02当两束具有相同频率和相位的光波在空间某一点相遇时,它们会相互叠加形成干涉
干涉会导致光强的空间分布发生变化,形成明暗相间的干涉条纹
Michelson干涉仪原理03Michelson干涉仪通过将一束光分成两束相互垂直的光束,分别经过反射镜反射后再合并,利用反射镜的移动或光路的改变,使两束光产生不同的光程差,从而形成干涉现象
结构与组成分束器干涉臂将一束入射光分成两束相互垂直的光束
常见的分束器有半透半反镜和分束棱镜
连接分束器和反射镜,使光束在其中传播
通常使用光学平台或真空管作为干涉臂
反射镜探测器使一束光反射后改变方向
通常使用平面镜作为反射镜
用于检测干涉现象并记录干涉条纹
常见的探测器有光电二极管和CCD相机
应用与实例长度测量光学薄膜检测引