2010年12月思茅师范高等专科学校学报Dee．2010激光在太阳能电池产业中的应用现状杨贵荣(思茅师范高等专科学校计算机科学系，云南普洱665000)[摘要】在结合相关的文献基础之上简要的介绍了激光h-Y-在太阳能电池产业中的三个方面应用：激光开槽埋栅、激光划刻薄膜电池、激光打孔制作背接触式太阳能电池。[关键词]激光；太阳能电池；激光开槽；激光划刻；激光打孔[中图分类号]TN249[文献标识码]A[文章编号]1008-8059(2010)06-0029—03●●JL-_·一．L刖吾兴起于20世纪60年代的激光加工技术，第一次飞速发展期是20世纪80年代末90年代初，此后逐步大量应用于如机械制造、汽车、造船、微电子等材料加工的各个领域行业，尤以机械行业的应用发展速度最快，在机械制造业中的广泛使用又推动了激光加工技术的工业化。激光因其快速、精确、零接触以及良好的热效应迅速在各行业中体现出了其优越性，而这些特点恰好是光伏生产对其加工过程的要求。因此，近年来传统激光技术企业和光伏生产商越走越近，并共同进行了大量开发，期待获得更加有效的光伏模块。而和其他产业一样，激光的精确性和速度再次成为光伏产业的催化剂。光伏生产领域开始大量使用激光技术，如给构成光伏模块基础的太阳能晶圆钻孔以及应用于切割太阳能电池及表面加工等。因其精确性和速度，激光技术也使太阳能电池效率大大提高，并降低了切割成本。激光技术与光伏生产科技的融合，传统半导体厂商的加入，使双方已经形成了独有的联合，而激光技术也为光伏发电进入市场做出了巨大贡献。在新能源，尤其是太阳能产业备受推崇的背景下，激光钻孔、刻槽、划片、薄膜太阳能电池激光划线系统、光纤激光器等大量激光JJn-r技术及产品也越来越受到行业的关注。2激光在太阳能电池生产中的应用在世界流行节约能源的潮流中，绿色科技已是目前的产业新星。而这波绿色科技潮流，又首推太阳能最为行情看涨，有可能成为全球红透半边天的明日之星。太阳能电池(SolarCeU)发电是一种可再生的环保发电方式，发电过程中不会产生二氧化碳等温室气体，不会对环境造成污染。简单的说，太阳能光伏电池的发电原理，是利用太阳电池吸收0．4—1．1斗m波长(针对硅晶)的太阳光，将光能直接转变成电能输出的一种发电方式。下面主要结合相关文献从三个方面介绍激光在太阳能电池生产中的应用。2．1激光开槽埋栅(1asergrooved，buffedcontact)1985年M．A．Green等在文章⋯中首次提出激光开槽埋栅太阳能电池，研制成的激光开槽，埋栅电极(简称为LGBC)硅太阳能电池，具有许多优点：光电转化效率高，加工电池面积大，工艺较简单，成本低，可靠性高，适于批量生产。因此，这种大面积、高校率硅太阳能电池颇有规模生产的潜力以及竞争优势。激光开槽采用Nd：YAG激光器。激光器发出经Q开关声光调制的高能量强度，脉冲激光(波长1．06恤m)，照在移动的硅片表面上，为一定深度的硅所吸收，产生高温，发生气化、熔化现象，而在硅片表面上“刻划”槽后，经化学腐蚀，除去槽区颗粒堆积物及激光损伤部分，才显露出整个槽区，完成开槽工序后。槽深决定于激光能量的大小，文献中报道是槽宽的2至5倍。激光开槽，①【收稿日期]2010—05—10[作者简介】扬责蒙(1970一)，男，哈尼族，云南江城人，思茅师范高等专科学枝计算机科学系讲师。29万方数据思茅师范高等专科学校学报极窄又深，这是激光开槽技术的第一个显著优点。激光开槽所加工的硅片被固定在载物台上。该台移动的图形(即电池栅极图形)受微机中所涉及的程序及步进机的精密控制。这种技术在大面积、多品种太阳能电池的研究或生产中，显得十分方便、灵活。这也是激光开槽技术的第二个优点。1988年M．A．Green又在文献B1中报道运用激光开槽埋栅技术研制成功在12cm2的单个电池，并且电池效率达到20．6％。同年CheeMunChongH’等人发表了运用同样的技术制作的12era。的电池效率为19．8％。2005年Jiun—HuaGuoHl等人也运用开槽埋栅技术在磷掺杂的衬底上制作了叉指背面接触太阳能电池，电池片的效率为19．2％。2．2激光划刻(1aserscribing)薄膜电池在薄膜太阳能组件生产中，激光设备在“划刻”过程中发挥两大作用”】：第一，它把连续的膜...
