培训资料前道一制绒工艺制绒目的1
消除表面硅片有机物和金属杂质
去处硅片表面机械损伤层
在硅片表面形成表面组织,增加太阳光的吸收减少反射
工艺流程来料,开盒,检查,装片,称重,配液加液,制绒,甩干,制绒后称重,绒面检查,流出
单晶制绒1号机槽号123456789作用超声溢流制绒槽超声喷淋溢流成份柠檬酸/双氧水+氨水纯水NaOH+IPA+Na2SiO3纯水配液6瓶/25L+25L5瓶+3瓶+3瓶补加液100-150g+1L无温度90/606080常温时间300/600200/5001200s3003004002号机槽号123456789作用酸腐制绒槽酸洗溢流酸洗溢流溢流喷淋成份纯水HCL纯水HF纯水配液16L12L补加液时间440420400400200400200200300甩干喷水(S)喷氮(S)延时(S)压力MPa低速/高速(r/m)温度30320100
7200/300128基本原理1#超声去除有机物和表面机械损伤层
目前采用柠檬酸超声,和双氧水与氨水混合超声
3#4#5#6#制绒利用NaOH溶液对单晶硅片进行各向异性腐蚀的特点来制备绒面
当各向异性因子((100)面与(111)面单晶硅腐蚀速率之比)=10时,可以得到整齐均匀的金字塔形的角锥体组成的绒面
绒面具有受光面积大,反射率低的特点
可以提高单晶硅太阳能电池的短路电流,从而提高太阳能电池的光转换效率
化学反应方程式:Si+2NaOH+H2O=Nasio3+2H2↑影响因素1
温度温度过高,首先就是IPA不好控制,温度一高,IPA的挥发很快,气泡印就会随之出现,这样就大大减少了PN结的有效面积,反应加剧,还会出现片子的漂浮,造成碎片率的增加
可控程度:调节机器的设置,可以很好的调节温度
时间金字塔随时间的变化:金字塔逐渐冒出来;表面上基本被小金字塔覆盖,少数开始成长;金字塔密布的绒面已经形成,