施美乐博公司上海代表处上海浦东新区商城路738号胜康廖氏大厦906A(邮编:200120Rm.906A,SuncomeLiauw'sPlaza,No.738,ShangchengRoad,Pudong,Shanghai200120,ChinaTel:+86-21-58362889Fax:+86-21-58362887To:Semilab产品用户FROM:黄黎/SemilabShanghaiOfficePages:5Pages(includedthispageRefer:1、Semilab公司上海办事处联系方法2、关于少子寿命测试若干问题的讨论尊敬的Semilab产品用户:感谢您和贵公司一直以来对我们的支持!为了更好地服务于中国客户,Semilab公司现已在上海成立办事处。具体的联系方法为:施美乐博公司上海办事处上海浦东新区商城路738号胜康廖氏大厦906A(邮编:200120Tel:+86-21-58362889Fax:+86-21-58362887联系人:黄黎先生手机:+86-138********(Shanghai+86-135********(BeijingE-mail:leon.huang@semilab.com.cnWebsite:Http://www.semilab.com现提供关于少子寿命测试若干问题的讨论,供您参考,并烦请填写客户意见反馈表,传真给我们,以便我们改进工作,谢谢!如您还有任何问题或需要,请随时与我们联系。此致敬礼!施美乐博公司上海办事处2006年4月7日施美乐博公司上海代表处上海浦东新区商城路738号胜康廖氏大厦906A(邮编:200120Rm.906A,SuncomeLiauw'sPlaza,No.738,ShangchengRoad,Pudong,Shanghai200120,ChinaTel:+86-21-58362889Fax:+86-21-58362887关于少子寿命测试若干问题的讨论鉴于目前Semilab少子寿命测试已在中国拥有众多的用户,并得到广大用户的一致认可。现就少子寿命测试中,用户反映的一些问题做出如下说明,供您在工作中参考:1、Semilabμ-PCD微波光电导少子寿命的原理微波光电导衰退法(Microwavephotoconductivitydecay测试少子寿命,主要包括激光注入产生电子-空穴对和微波探测信号的变化这两个过程。904nm的激光注入(对于硅,注入深度大约为30um产生电子-空穴对,导致样品电导率的增加,当撤去外界光注入时,电导率随时间指数衰减,这一趋势间接反映少数载流子的衰减趋势,从而通过微波探测电导率随时间变化的趋势就可以得到少数载流子的寿命。少子寿命主要反映的是材料重金属沾污及缺陷的情况。Semilabμ-PCD符合ASTM国际标准F1535–002、少子寿命测试的几种方法通常少数载流子寿命是用实验方法测量的,各种测量方法都包括非平衡载流子的注入和检测两个基本方面。最常用的注入方法是光注入和电注入,而检测非平衡载流子的方法很多,如探测电导率的变化,探测微波反射或透射信号的变化等,这样组合就形成了许多寿命测试方法。近30年来发展了数十种测量寿命的方法,主要有:直流光电导衰退法;高频光电导衰退法;表面光电压法;少子脉冲漂移法;微波光电导衰减法等。对于不同的测试方法,测试结果可能会有出入,因为不同的注入方法,表面状况的不同,探测和算法等也各不相同。因此,少子寿命测试没有绝对的精度概念,也没有国际认定的标准样片的标准,只有重复性,分辨率的概念。对于同一样品,不同测试方法之间需要作比对试验。但对于同是Semilab的设备,不论是WT-2000还是WT-1000,测试结果是一致的。μ-PCD法相对于其他方法,有如下特点:-无接触、无损伤、快速测试-能够测试较低寿命-能够测试低电阻率的样品(最低可以测0.1ohmcm的样品-既可以测试硅锭、硅棒,也可以测试硅片、电池-样品没有经过钝化处理就可以直接测试-即可测P型片,也可测N型片3、表面处理和钝化的原因μ-PCD测试的是少子有效寿命,它受两个因素影响:体寿命和表面寿命。测试的少子寿命可由下式表示111measbulkdiffsurfττττ=++(3-01施美乐博公司上海代表处上海浦东新区商城路738号胜康廖氏大厦906A(邮编:200120Rm.906A,SuncomeLiauw'sPlaza,No.738,ShangchengRoad,Pudong,Shanghai200120,ChinaTel:+86-21-58362889Fax:+86-21-58362887其中22,diffnpdDτπ=2surfdSτ=τdiff为少子从样品体内扩散到表面所需时间。τsurf为由于样品表面复合产生的表面寿命,τmeas为样品的测试寿命,d为样品厚度,Dn,Dp分别为电子和空穴的扩散系数;S为表面复合速度。由式(3-01可知,表面寿命对测试寿命有很大影响,使其偏离体寿命,图3-02是体寿命与测试寿命的关系。在样品厚度一定的情况下,即扩散寿命一定,如果表面复合速率很大,则在测试...
