无尘车间洁净度如何确定详细分析一、净化车间的规格净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是，伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格进行了改版，其内容主要是以洁净度进行分类。最新版已成为No209E，名称也进行了变更。No.209E的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3，把X表示成级别，同时加上米制M的意思，表示成M3.5等等。在表7里表示的是美国联邦规格No.209B，表8表示的是美国联邦规格No.209E。在日本，相应的规格是JISB9920。JIS9920的级别表示是把0.1um以上的颗粒数规定为10X个，用Y表示级别。表9、图2表示了JISB9920的级别的主要内容。表7美国联邦规格No.209B净化间级别粒子室内压力PammH2O温度湿度气流换气次数照度粒径um累计粒子数范围（℃）推荐值（℃）差（℃）高（%）最低%误差%100100010000100000≧0.5≧0.5≧5≧0.5≧5≧0.5≧51001000101000065100000700+13（+1.3）以上19.4—2522.2±2.8特别时为±1.44530±10特别时为±5层流方式0.45m/s±0.1m/s非层流方式≧20次/h1080--1620表8,美国联邦规格No.209E的洁净度级别分类级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度（单位堆积粒子数）表示。*级别名称**级别上限值粒径0.1um粒径0.2um粒径0.3um粒径0.5um粒径5umSI***EnglishUnit(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)MIM1.5M2M2.5M3M3.5M4M4.5M5M5.5M6M6.5M7110100100010000100000350124035001200035000----------------9.9135.099.1350991----------------75.7265757265075702650075700------------2.147.5021.475.02147502140------------30.9106309106030901060030900------------0.8753.008.7530.087.5300875------------10.035.3100353100035301000035300100000353000100000035300000.2831.002.8310.028.3100283100023801000028300100000283000--------------247618247061802470061800--------------7.0017.570.01757001750*上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。**针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2，其中，M:SI单位里的级别名称，D:粒径（um）***国际单位（SystemeInternationald’Unites的缩写）图1，209E的洁净度级别（图略）图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。（）内数值是用Englishunit表示级别。图2，JISB9920的洁净度级别的上限浓度表9，JISB9920主要内容净化间级别标准粒径（um）累计粒子数(个/m3)123456780.10.10.10.10.10.10.10.1101102103104105106107108表10，美国航空宇宙局规格主要内容生物净化间级别粒子生物粒子室内压力PammH2O温度℃湿度%气流换气次数照度Lx粒径um累计粒子数个/ft(个/l)浮游量个/ft(个/l)沉降量10010000100000≧0.5≧0.5≧5≧0.5≧5100（3.5）10000（350）65（2.3）100000（3500）700(25)0.1（0.0035）0.5（0.0176）2.5（0.0884）1200（12900）6000（64000）30000（323000）+13（+1.3）以上推荐值40—50层流方式0.45m/s±0.1m/s非层流式≧20次/h1080—1620三、不同用途所要求的洁净度如前所述，净化间的级别一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。例如，在半导体制造工厂等里边，根据作业内容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的净化间。而且，在制药工厂里，根据产品的纯度、作业工序，需有从M3.5到M6.5（100，000）范围广泛的级别不等净化间。因此说，各种产业所需要的净化间，其要求的洁净度是不同的。就一般级别而言，表11可以作为参考。表11，各产业所要求的净化间级别一览领域和产业洁净度标准（级别）内容SIEnglishunit半导体工业（IC、LSI等）掩模板对准工艺M3.5100刻蚀工艺M3.5100腐蚀加工扩散工艺M3.5100高纯度扩散蒸着工艺M3.5100高纯度电镀涂布工艺M3.5100感光剂涂布电子设备计算器制造M5.510,000磁头阴极射线管M5.510,000,遮屏磁带M5.510,000防止杂音精密仪器陀螺、微型轴承M5.510,000提高精度导...
