中科院苏州纳米所实习报告一、实习目的了解专业理论知识，了解相关微纳加工技术，包括光刻、薄膜沉积、刻蚀、CMP及封装工艺将理论与工艺操作结合，熟悉超净间工作环境，了解元器件加工生产工序和生产设备，加强理论跟实践密切相结合，提升专业素质和专业技能。二、实习单位及岗位介绍实习单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米加工公共平台实习岗位：工艺实习员岗位介绍：纳米加工平台是集微米、纳米加工和检测手段于一体，具有先进的、有特色的多功能的加工平台。在纳米加工平台的工艺实习员在优秀的老师的指导下完成样品微米、纳米加工和检测，按照要求并做好记录，完成必要的报告文献。三、实习安排周次第一周日期安排乘车前往苏州，办理入住事项上午在苏纳所进行入所教育，下午参观超净间加工平台综合培训，主要包括超净间的使用，平台安全事项的介绍以及常用小型设备的介绍三方面第二周清洗间培训以及清洗间实际操作的考核综合培训考试理论培训，包括光刻，刻蚀，薄膜沉积以及封装等四项工艺分组进入超净间实地学习，我们小组分配在203室第三周小组轮换超净间，我们小组轮换到103室上午职业技能考试，下午分组汇报学习成果，颁发结业证书办理手续，离苏返校四、实习内容及过程全班同学在老师的带领下一起乘车抵达苏州，办理入住并熟悉周围环境。入所教育及超净间参观一，苏纳所简介经老师介绍及相关资料的查询我了解到苏纳所的概况：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院与江苏省人民政府、苏州市人民政府和苏州工业园区共同出资创建，位于风景秀丽的苏州工业园区独墅湖科教创新区内。根据中国科学院调整科技布局的规划，面向国际科技前沿、国家战略需求与未来产业发展，开展相关领域基础性、战略性、前瞻性研究。建设公共技术平台，为我国现代制造业与高新技术产业发展不断提供新的知识与技术，发挥国家研究机构的骨干与引领作用。当前主要的研究内容：信息领域，能源领域，环境领域，生命与医学领域。老师同时也为我们介绍了苏纳所研究生招生，待遇，以及发展等情况。二，纳米加工平台老师首先为我们介绍了微电子技术整体的发展：从1947年肖克利团队发明第一个锗晶体管到60年代后集成电路的出现及发展，一直到今天仍在蓬勃发展的超大规模集成电路，微电子技术在人类社会信息化的过程中起到了不可替代的巨大作用。而在发展过程中它又衍生出许多的交叉学科，如微机电系统，生物芯片等，也都是具有广阔应用前景的技术。纳米加工平台的定位及特色：国际先进水平，面向国内外开放的纳米科学研究和成果转化的公共技术平台。加工精度最小为10nm。纳米加工平台的加工能力：微纳米电子器件，光电子器件，微纳光机电系统，生物传感器及生物芯片，化合物半导体器件。平台设备概况：主要包括镀膜，刻蚀，光刻，掺杂，封装等工艺的设备。平台现阶段研究方向：宽带隙半导体材料与器件，新型信息功能材料及器件，二维材料纳米器件。三，超净间参观老师带领我们参观了超净间一楼及二楼的几个实验室，简单介绍了相关的一些仪器及注意事项，着重提到了清洗间，灰区，黄光室等。加工平台综合培训一，超净间的使用超净间使用指引：老师解释了纳米加工平台用户培训的流程，介绍超净间每个楼层的具体布局。每个实验室旁边都有一个灰区，用来存放相关的设备和器材，清洁度要求比超净间低，可以节约一定的能源，同时一些有毒有害物质也存放在里面，所以一般非工作人员禁止进入，非紧急情况禁止进入。每一层都有两个安全门。超净间进出步骤：穿一次性鞋套—指纹门禁—一次更衣—二次更衣—风淋室，出来步骤相反，但二次更衣手套要最后一个脱掉。超净间管理规定：听从平台工作人员的指导和指示，平台工作人员有权纠正违反加工平台规章制度人员的行为。使用设备时，如存在任何疑问，应及早主动与平台工作人员沟通或咨询。除在相关工作区域作业外，不能随意走动。非紧急情况严禁进入灰区。湿法腐蚀只能在清洗间进行。光刻间限制人数，无工艺者不能进入。未经平台规定的培训并考核合格及预约人员不得擅自操作任何设备。未经许可，严禁挪动任何设备、仪器和装置。工艺之前必须进...
