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史上最全的半导体材料工艺设备汇总VIP免费

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——仅供参考小编为您解读半导体生产过程中的主要设备概况。1、单晶炉设备名称: 单晶炉。设备功能: 熔融半导体材料,拉单晶,为后续半导体器件制造,提供单晶体的半导体晶坯。主要企业(品牌):国际: 德国 PVA TePla AG 公司、日本Ferrotec公司、美国QUANTUM DESIGN公司、德国Gero 公司、美国KAYEX公司。国内: 北京京运通、七星华创、北京京仪世纪、河北晶龙阳光、西安理工晶科、常州华盛天龙、上海汉虹、西安华德、中国电子科技集团第四十八所、上海申和热磁、上虞晶盛、晋江耐特克、宁夏晶阳、常州江南、合肥科晶材料技术有限公司、沈阳科仪公司。——仅供参考2、气相外延炉设备名称: 气相外延炉。设备功能: 为气相外延生长提供特定的工艺环境,实现在单晶上,生长与单晶晶相具有对应关系的薄层晶体,为单晶沉底实现功能化做基础准备。气相外延即化学气相沉积的一种特殊工艺,其生长薄层的晶体结构是单晶衬底的延续,而且与衬底的晶向保持对应的关系。主要企业(品牌):国际: 美国 CVD Equipment 公司、美国GT公司、法国Soitec公司、法国AS公司、美国ProtoFlex公司、美国科特· 莱思科(Kurt J.Lesker)公司、美国Applied Materials公司。国内: 中国电子科技集团第四十八所、青岛赛瑞达、合肥科晶材料技术有限公司、北京金盛微纳、济南力冠电子科技有限公司。3、分子束外延系统(MBE, Molecular Beam Epitaxy System)——仅供参考设备名称: 分子束外延系统。设备功能: 分子束外延系统,提供在沉底表面按特定生长薄膜的工艺设备;分子束外延工艺,是一种制备单晶薄膜的技术,它是在适当的衬底与合适的条件下,沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜。主要企业(品牌):国际: 法国 Riber 公司、美国Veeco 公司、芬兰DCA Instruments公司、 美国 SVTAssociates公司、美国NBM公司、 德国 Omicron公司、 德国 MBE-Komponenten公司、 英国 Oxford Applied Research( OAR)公司。国内: 沈阳中科仪器、北京汇德信科技有限公司、绍兴匡泰仪器设备有限公司、沈阳科友真空技术有限公司。4、氧化炉( VDF)——仅供参考设备名称: 氧化炉。设备功能: 为半导体材料进行氧化处理,提供要求的氧化氛围,实现半导体预期设计的氧化处理过程,是半导体加工过程的不可缺少的一个环节。主要企业(品牌):国际: 英国 Thermco 公司、德国Centrothermthermal solutions GmbH Co.KG公司。国内: 北...

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