本科毕业设计(论文)题目:面向芯片封装的划片机机械结构设计院 (系): 机电工程学院 专 业: 机械设计制造及自动化 班 级: 学 生: 学 号: 指导教师: 201 年 0 月本科毕业设计(论文)题目:面向芯片封装的划片机机械结构设计院 (系): 机电工程学院 专 业: 机械设计制造及自动化 班 级: 班 学 生: 学 号: 指导教师: 201 年 0 月面向芯片封装划片机机械结构设计摘 要 芯片封装是三大半导体行业之一
包装工艺包括:划线,粘膜,超声波焊接,包装,测试,包装
划片机就是芯片封装生产线上一个器件,不过这可是第一个关键器件,它的功能是将生产的晶圆加以切割,做成单元器件,并为下一个单元晶片的接合做准备
然而,因为和国外技术的差距比较大,所以中国划片机基本上都是从外国购买的
为了让中国拥有自己研发制作的划片机,详细设计了划片机机的整体规划和其中的关键部件
工艺要求的基础上,我们先确定了
划片机的主要功能,设计了划片机各部分的原理
然后,列出了四种不同的
结构方案,分别分析它们的优缺点,仔细比较后选择
其中的最优方案
划片机整体规划
在下一步中,每个零件结构的初步设计都按照划线过程的要求进行,包括各轴的传输方案和相关的结构参数
然后,根据主体的要求,对划片机的四个轴进行精心设计
通过计算,完成
X,θ,Y,Z 轴的
螺母机构的选
择类型、导轨选择
X,θ,Y,Z 轴的装配图
关键字:划片机;总体规划;结构设计;滚珠丝杠;步进电机;滚动直线导轨Mechanical structure design of dicing saw for chippackagingAbstractChip packaging is one of the three major semiconductor industries