第五章 电子衍射衬度成像5.1 电子像衬度的分类及其成像方法5.1.1 质厚衬度成像原理5.1.2 衍射衬度成像原理5.1.3 相位衬度成像原理5.2 衍衬运动学理论5.2.1 基本假设和近似处理5.2.2 完整晶体衍衬的运动学方程5.2.3 完整晶体运动学衍衬理论的实验验证5.2.4. 缺陷晶体衍衬的运动学理论及其应用5.3 衍衬动力学理论 ( 波动光学方程 )5.3.1 电子的散射及其交互作用5.3.2 完整晶体衍衬动力学方程第五章 电子衍射衬度成像5.3.3 完整晶体的动力学方程的解5.3.4 厚度消光和弯曲消光5.3.5 反常吸收效应5.3.6 缺陷晶体衍衬动力学方程及其应用5.3.7 缺陷晶体衍衬像的计算机模拟及其应用第五章 电子衍射衬度成像本章要点1. 电子像衬度有 3 类：质厚衬度、衍射衬度和相位衬度，其中衍射衬度和相位衬度是最为重要的；2. 完整晶体衍衬运动学理论能定性解释弯曲消光条纹和厚度消光条纹；而缺陷晶体的衍衬运动学理论导出的不可见判据是鉴别缺陷（层错和位错）类型的依据；3. 考虑吸收的完整衍衬动力学方程能定量地解释弯曲消光条纹和厚度消光条纹；而缺陷晶体的衍衬动力学方程不仅能确定缺陷的类型，而且能定量解释缺陷（层错和位错）的细节特征；4. 对于各向同性晶体中的缺陷，可用不可见判据来确定缺陷的类型，但对于各向异性显著的晶体中缺陷，必须通过计算机模拟来确定。5.1 电子像衬度的分类及其成像方法 电子像衬度可分为 3 类，即质量厚度衬度（简称质厚衬度）或称散射吸收衬度、电子衍射衬度 ( 简称衍衬 ) 和相位衬度。 5.1.1 质厚衬度成像原理 1. 单个原子对入射电子的散射 当入射电子穿透非晶体薄膜试样时，将与试样发生相互作用，即与原子核相互作用，或与核外电子相互作用，由于电子的质量比原子核小得多，所以原子核对入射电子的散射作用，一般只引起电子改变运动方向，而无能量变化（或变化甚微） , 这种散射叫做弹性散射。散射电子运动方向与原来入射方向之间的夹角叫做散射角，用 来表示，如图 5.1所示。 5.1.1 质厚衬度成像原理 散射角 α 的大小取决于瞄准距离 rn，原子核电荷 Ze 和入射加速电压 U 。它们的关系如下： 或 （ 5.l ） nUrZeα UαZer n图 5.1 电子受原子的散射 当一个电子与一个孤立的核外电子发生散射作用时，由于两者质量相等，散射过程不仅使入射电子改变运动方向，还发生能量变化，这种散射叫做非弹性散射。散射角可由下式来定： 或 (5.2)eUreα ...
