1 透射电子显微镜技术简介透射电子显微镜( Transmission Electron Microscope,TEM),简称透射电镜,是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射
散射角的大小与样品的密度、 厚度相关, 因此可以形成明暗不同的影像
通常,透射电子显微镜的分辨率为0
2nm,放大倍数为几万~百万倍,用于观察超微结构,即小于0
2 微米、光学显微镜下无法看清的结构,又称“亚显微结构”
一、透射电镜的成像原理如图所示,电子枪发射的电子在阳极加速电压的作用下,高速地穿过阳极孔,被聚光镜会聚成很细的电子束照明样品
因为电子束穿透能力有限,所以要求样品做得很薄,观察区域的厚度在200nm左右
由于样品微区的厚度、平均原子序数、晶体结构或位向有差别, 使电子束透过样品时发生部分散射,其散射结果使通过物镜光阑孔的电子束强度产生差别,经过物镜聚焦放大在其像平面上,形成第一幅反映样品微观特征的电子像
然后再经中间镜和投影镜两级放大, 投射到荧光屏上对荧光屏感光,即把透射电子的强度转换为人眼直接可见的光强度分布,或由照相底片感光记录,从而得到一幅具有一定衬度的高放大倍数的图像
透射电子显微镜的成像方式可表述为:1
由电子枪发射高能、高速电子束;2
经聚光镜聚焦后透射薄膜或粉末样品;3
透射电子经过成像透镜系统成像;4
激发荧光屏显示放大图像;5
专用底片 / 数字暗室记录带有内部结构信息的高分辨图像;二、透射电子显微镜的结构透射电镜一般是由电子光学部分、真空系统和供电系统三大部分组成
透射电镜与普通光学显微镜结构对比2 1.电子光学部分整个电子光学部分完全置于镜筒之内,自上而下顺序排列着电子枪、聚光镜、样品室、 物镜、中间镜、投影镜、观察室、荧光屏、照相机构等装置
根据这些装置的功能不同又可将电