acceptancetesting(WAT:waferacceptancetesting)2
acceptor:受主,如 B,掺入 Si 中需要接受电子3
ACCESS:—个 EDA(EngineeringDataAnalysis)系统4
Acid:酸5
Activedevice:有源器件,如 MOSFET(非线性,可以对信号放大)6
Alignmark(key):对位标记7
Alloy:合金8
Aluminum:铝9
Ammonia:氨水10
Ammoniumfluoride:NH4F11
Ammoniumhydroxide:NH4OH12
Amorphoussilicon:a-Si,非晶硅(不是多晶硅)13
Analog:模拟的14
Angstrom:A(1E-10m)埃15
Anisotropic:各向异性(如 POLYETCH)16
AQL(AcceptanceQualityLevel):接受质量标准,在一定采样下,可以 95%置信度通过质量标准(不同于可靠性,可靠性要求—定时间后的失效率)17
ARC(Antireflectivecoating):抗反射层(用于METAL 等层的光刻)18
Antimony(Sb)锑19
Argon(Ar)氩20
Arsenic(As)砷21
Arsenictrioxide(As2O3)三氧化二砷22
Arsine(AsH3)23
Asher:去胶机24
Aspectration:形貌比(ETCH 中的深度、宽度比)25
Autodoping:自搀杂(外延时 SUB 的浓度高,导致有杂质蒸发到环境中后,又回掺到外延层)26
Backend:后段(CONTACT 以后、PCM 测试前)27
Baseline:标准流程28
Benchmark:基准29
Bipolar