蔡司场发射扫描电镜 蔡司场发射扫描电镜 操作培训操作培训微纳科学技术研究院微纳科学技术研究院Zeiss Ultra 55Zeiss Ultra 55 场发射扫描电镜场发射扫描电镜(( SEMSEM ))SEMSEM 的特点的特点• 表(界)面形貌分析;表(界)面形貌分析;• 分辨率高,可达纳米级;分辨率高,可达纳米级;• 放大倍数连续调节范围大:十几倍-几十放大倍数连续调节范围大:十几倍-几十万倍,连续可调,使用非常方便万倍,连续可调,使用非常方便 ;;• 三维立体效果好,扫描电镜图像景深大;三维立体效果好,扫描电镜图像景深大;• 样品制备简单。导电样品只要尺寸大小适样品制备简单。导电样品只要尺寸大小适于样品台安装,可以直接观察,非导电样于样品台安装,可以直接观察,非导电样品通过表面镀导电膜层处理即可。品通过表面镀导电膜层处理即可。• 综合分析能力强。可安装多种附件,分别综合分析能力强。可安装多种附件,分别检测不同的信号,可以分析成分、含量及检测不同的信号,可以分析成分、含量及分布,如能谱仪(分布,如能谱仪( EDSEDS )。)。• 操作方便、快捷。操作方便、快捷。安全规则安全规则• 设备的电源一定要确保持续和稳定。设备的电源一定要确保持续和稳定。• 当设备出现短路,起火等重大紧急故障时,当设备出现短路,起火等重大紧急故障时,切断设备电源和切断设备电源和 UPSUPS 电源。电源开关见下电源。电源开关见下图红圈图红圈安全规则安全规则• 当样品台移动的时候,一定要在当样品台移动的时候,一定要在 TVTV 模式下,模式下,确保其不会碰撞到探头。(尤其是在样品确保其不会碰撞到探头。(尤其是在样品台上升的过程中)台上升的过程中)要求要求 WD>8mmWD>8mm安全规则安全规则• 平时观测时,注意不要碰到左边的操纵杆,平时观测时,注意不要碰到左边的操纵杆,以免样品高度和倾斜度发生变化,损坏镜头以免样品高度和倾斜度发生变化,损坏镜头和探测器!和探测器!安全规则安全规则• 开关仓门时必须轻拉轻推,避免撞击,震开关仓门时必须轻拉轻推,避免撞击,震动极易损坏探测器。动极易损坏探测器。安全规则安全规则• 样品一定要粘牢在样品台上,样品高度应样品一定要粘牢在样品台上,样品高度应基本一致,样品表面平整,样品大小不得基本一致,样品表面平整,样品大小不得超出大样品台边缘(超出大样品台边缘( 33 英寸硅片一次只能英寸硅片一次只能放入一片),高度不得超过...