蔡司场发射扫描电镜 蔡司场发射扫描电镜 操作培训操作培训微纳科学技术研究院微纳科学技术研究院Zeiss Ultra 55Zeiss Ultra 55 场发射扫描电镜场发射扫描电镜（（ SEMSEM ））SEMSEM 的特点的特点• 表（界）面形貌分析；表（界）面形貌分析；• 分辨率高，可达纳米级；分辨率高，可达纳米级；• 放大倍数连续调节范围大：十几倍－几十放大倍数连续调节范围大：十几倍－几十万倍，连续可调，使用非常方便万倍，连续可调，使用非常方便 ;;• 三维立体效果好，扫描电镜图像景深大；三维立体效果好，扫描电镜图像景深大；• 样品制备简单。导电样品只要尺寸大小适样品制备简单。导电样品只要尺寸大小适于样品台安装，可以直接观察，非导电样于样品台安装，可以直接观察，非导电样品通过表面镀导电膜层处理即可。品通过表面镀导电膜层处理即可。• 综合分析能力强。可安装多种附件，分别综合分析能力强。可安装多种附件，分别检测不同的信号，可以分析成分、含量及检测不同的信号，可以分析成分、含量及分布，如能谱仪（分布，如能谱仪（ EDSEDS ）。）。• 操作方便、快捷。操作方便、快捷。安全规则安全规则• 设备的电源一定要确保持续和稳定。设备的电源一定要确保持续和稳定。• 当设备出现短路，起火等重大紧急故障时，当设备出现短路，起火等重大紧急故障时，切断设备电源和切断设备电源和 UPSUPS 电源。电源开关见下电源。电源开关见下图红圈图红圈安全规则安全规则• 当样品台移动的时候，一定要在当样品台移动的时候，一定要在 TVTV 模式下，模式下，确保其不会碰撞到探头。（尤其是在样品确保其不会碰撞到探头。（尤其是在样品台上升的过程中）台上升的过程中）要求要求 WD>8mmWD>8mm安全规则安全规则• 平时观测时，注意不要碰到左边的操纵杆，平时观测时，注意不要碰到左边的操纵杆，以免样品高度和倾斜度发生变化，损坏镜头以免样品高度和倾斜度发生变化，损坏镜头和探测器！和探测器！安全规则安全规则• 开关仓门时必须轻拉轻推，避免撞击，震开关仓门时必须轻拉轻推，避免撞击，震动极易损坏探测器。动极易损坏探测器。安全规则安全规则• 样品一定要粘牢在样品台上，样品高度应样品一定要粘牢在样品台上，样品高度应基本一致，样品表面平整，样品大小不得基本一致，样品表面平整，样品大小不得超出大样品台边缘（超出大样品台边缘（ 33 英寸硅片一次只能英寸硅片一次只能放入一片），高度不得超过...
