四探针薄层电阻测试仪的电路原理作者：李斌来源：《河南科技》第 14 期 摘 要：四探针薄层电阻测试仪含有量程选择方便、恒流源电流可调及数据读出快速、稳定的特点。因此，本文结合半导体制程中扩散层薄层电阻测量的实际需要，介绍了四探针薄层电阻测试仪的测试原理和电路原理，以期为有关学者的研究提供参考。 核心词：薄层电阻；扩散层；PN 结 中图分类号：TN407 文献标记码：A 文章编号：1003-5168（）14-0045-03 Circuit principles of Four probe sheet resistance tester for Semiconductor diffusion layer LI Bin （Guangzhou Semiconductor Materials Research Institute ，Guangzhou Guangdong 510610） Abstract ： The four probe thin layer resistance tester has the characteristics of convenient range selection ， adjustable current source current and fast and stable data reading. Therefore ， this paper introduced the testing principle and circuit principle of the four probe thin layer resistance tester with the practical needs of the thin layer resistance measurement of the diffusion layer in the semiconductor process ， in order to provide reference for the research of the related scholars. Keywords ： sheet resistance；diffusion layer；PN junction 结型半导体器件和太阳能电池片的生产过程中，大多使用扩散法来制备 PN 结。在产品的制作过程中，扩散掺杂是最重要的工艺。掺杂质量好坏及均匀性影响产品的良品率。该工艺的监测重要通过扩散层薄层电阻测量来体现。采用四探针法测量扩散层的薄层电阻，不仅能够求得扩散层单位面积的杂质总量，如果再结合结深的测量，还能够估算出表面的杂质浓度，从而实现对工艺过程的精确控制。 广州半导体材料研究所生产的四探针薄层电阻测试仪，较好地满足了国内半导体器件制造商和光伏行业在生产方面的需要。由于四探针薄层电阻测试仪使用频率极高，顾客有必要理解其电路原理，方便于日常工作中的使用和维护。 1 四探针薄层电阻测试仪的测试原理 排列成始终线的四根探针垂直压在近似为半无穷大的平坦试样表面，将直流电流 I 在两外侧探针间通入试样，测量内侧两探针间所产生的电势差 V。根据测得的电流和电势差值...
