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MEMS原理-06讲述
MEMS原理KunmingUniversityofScienceandTechnologyKunming,ChinaOctober,2014索春光suochunguang@126.com第一页，共四十九页。06MEMSMateri...
2024-11-09发布178 浏览49 页18 次下载18.49 MB
MEMS陀螺仪精讲
MEMS陀螺仪第一页，共二十页。关于MEMS陀螺仪的探讨一、陀螺仪发展历程二、MEMS陀螺仪原理及分类三、MEMS陀螺仪的应用四、关于MEMS陀螺仪的...
2024-11-09发布121 浏览20 页7 次下载310.89 KB
MEMS光开关讲述
MEMS光开关第一页，共二十八页。目录MEMS光开关的研究背景1光开关以及MEMS光开关的概念光开关以及MEMS光开关的概念2MEMS光开关的分类及原理...
2024-11-09发布56 浏览28 页27 次下载3.2 MB
MEMS加工技术及其工艺设备
1MEMS加工技术及其工艺设备童志义MEMS是微电子技术与机械，光学领域结合而产生的，是20世纪90年代初兴起的新技术，是微电子技术应用的又一...
2024-11-07发布130 浏览7 页19 次下载26.22 KB
MEMS湿法腐蚀工艺和过程
第8章MEMS湿法腐蚀工艺和过程DavidW.Burns摘要：通过光刻胶或硬掩膜窗口进行的湿法化学腐蚀在MEMS器件制造的许多工艺过程中大量存在。本章...
2024-11-07发布170 浏览167 页1 次下载307.61 KB
微机电系统技术(MEMS)结合机械
◆主旨微機電系統技術（MEMS）結合機械、電機、電子、光電、通訊、材料、控制、化學、生醫等整合性技術，利用微小化科技提升產品性能、品質...
2024-11-06发布142 浏览5 页13 次下载23.04 KB
第十五章MEMS传感器讲述课件
第十五章MEMS传感器讲述课件目录•MEMS传感器概述•MEMS传感器的原理与结构•MEMS传感器的制造工艺•MEMS传感器的性能参数•MEMS传感器的优...
2024-11-05发布179 浏览29 页21 次下载2.69 MB
MEMS湿法腐蚀工艺和过程
第8章MEMS湿法腐蚀工艺和过程DavidW.Burns摘要：通过光刻胶或硬掩膜窗口进行的湿法化学腐蚀在MEMS器件制造的许多工艺过程中大量存在。本章...
2024-11-03发布61 浏览160 页20 次下载304.66 KB
微机电系统技术(MEMS)结合机械
◆主旨微機電系統技術（MEMS）結合機械、電機、電子、光電、通訊、材料、控制、化學、生醫等整合性技術，利用微小化科技提升產品性能、品質...
2024-11-03发布51 浏览4 页14 次下载18.98 KB
MEMS微传感器的工作原理课件
MEMS微传感器的工作原理(1)Agenda微传感器的概念微传感器的分类基本敏感原理介绍微传感器的实例微传感器的概念微传感器：基于MEMS...
2024-10-24发布168 浏览102 页7 次下载17.21 MB