选题依据(包括课题的来源、研究目的、必要性和重要性、意义以及国内外研究的技术现状分析)一.课题来源、研究目的、必要性和重要性、意义课题旨在利用现代先进的光电子技术测量大曲率孔内表面的粗糙度值,具体为一种基于漫散射量大曲率表面粗糙度检测系统。课题来源、必要性、重要性在于:随着现代科学技术的进步和发展,各种超精度加工技术的出现,高质量表面加工得以实现,从而对表面粗糙度侧量提出了越来越高的要求。而且在一些高尖端技术领域,产品越来越多的呈现微型化的发展趋势,其中大曲率器件在机械、仪表、航空、电子、生物医疗和纺织工业的应用越来越广泛。随之而来的问题是如何对大曲率内壁的表面粗糙度的检验,目前的比较常用的方法测量大曲率内壁表面的粗糙度的方法按照测量原理和实现方式的不同,一般可分为比较测量法、机械触针法、电子显微镜法、光学法及其其它一些综合测量方法等。然而在某些领域,比如在航空工业上,大飞机发动机和火箭发动器喷注器小孔直径均在5mm 以下,以上方法多少受到限制,比如用机械触针法,很难伸入大曲率孔中,而生产更微型的探针则成本过高等。这些大曲率孔内壁质量直接影响到整个产品的使用性能和寿命,特别是对于运转速度快、装配精度高、密封性要求严且高温作业下的产品,其影响作用表现得更加突出。课题意义在于,对于现有技术不足,提出一种基于漫散射量的大曲率孔内壁粗糙度的检测方法,实现大曲率孔内壁粗糙度测量的高效,精确的测量,可有效解决大曲率孔内壁粗糙度检测的实际要求。解决目前 FOS-RIM 型光纤表面粗糙度伸入式传感器所不能伸入的微小孔内壁粗糙度检测要求,并能有效的判断大曲率孔内壁各个位置粗糙度是否符合要求。二.国内外研究的技术现状分析多年来,大曲率孔内壁粗糙度的测量的问题始终是实验和理论研究的重要课题之一。特别是上世纪70 年代中后期,随着计算机应用的逐步普及和微电子技术、现代光学技术和激光应用技术的发展,大曲率粗糙度测量技术得到了一定的发展。粗糙度的测量方法包括接触式和非接触式两类,由于,曲面和孔内表面的粗糙度测量情况比较复杂和困难,例如:内孔,沟槽,曲面轴孔,内齿轮等零件孔内表面粗糙度的测量,特别是面对微小孔径时,用接触法很难操作且精度低,人为影响大。所以,目前,大曲率孔内表面粗糙度的检验方法,更多的采用非接触类非破坏性测量,其中更趋向于其中的光学测量法。而用非接触式的光学测量法,则因为被测目标内部空间...