TFT 设 计 教 材 目 录 第一章 概论 第二章 设计工作流程 第一节 工作流程 第二节 仕样书 第三章 TEG 第四章 MASK 设计 1. 外形设计 2. 像素设计 3. 屏设计 4. MASK 配置 - 1 - 第一章 概论 工作流程： •仕 样 决 定 •设 计 •Mask Order •部 材 •试 生 产 •量 产 在 量 产 之 前 的 所 有 步 骤 都 属 于 TFT 设 计 工作的 范 围 。本 教 材 第二 章将 对 工作流程各 步 骤和 仕 样 书 进 行 详 述 。 第三 章讲 述 对 设 计 工作至 关 重 要 的 TEG（ Test Graphics）。 第四 章为 具体 的 设 计 内 容 。 下 面 简 单 介 绍 一下 具 体 设 计 中 需 要 着 重 考 虑 的 项 目 ： a-Si TFT-LCD 的 设 计 主 要 包 括a-Si TFT 器 件 设 计 、 TFT 阵 列 单 元 像 素 设 计 、 TFT 阵 列设 计 以 及 阵 列 基 板 的 布 局 和 配 线 等 几 个 方 面 。 a-Si TFT是 TFT-LCD显 示 屏 阵 列 电 路 中 最 重 要 的 部 分 ， 其 器 件 性 能 的 优 劣 将 直 接 影 响 到a-Si TFT-LCD图 象 质 量 。 因 此 ， a-Si TFT器 件 结 构 参 数 的 合 理设 计 以 及 材 料参 数 的 优 化选择是 a-Si TFT-LCD优 化设 计 的 基 础。 a-Si TFT-LCD要 求作为 有 源开关 的 TFT器 件 具 有 较高的 开关 比， 即较高的 开态电 流和 相对 低的 关 态电 流。 从对 a-Si TFT器 件 模拟的 结 果可知， 选择合适的 TFT器 件 宽长比W/L， 适当减小绝缘层的 厚度 ， 优 化制 备 工艺 条 件 以 改 善 a-Si材 料性 能及 a-Si/SiNx界 面 特 性 ， 有 利 于 提 高开态电 流。 另 外 ， 减小有 源层的 厚度 ， 制 备 具 有 较低暗 态电 导 率 的 a-Si材 料是 降 低关 态电 流的 有 效 手 段 。 在 a-Si TFT器 件 设 计 过 程中 ， 栅 与 源、 漏 电 极 交 叠 大 小也 是 影 响 a-Si TFT-LCD图 象 显 示品 质 的 一个 重 要 参 数 。 寄 生 电 容 Cgd会 引 起 加 在 液 晶 象 素 上 的 信 号 电 压 变 化， 从而 造 成 显 示图 象 的 闪 烁 现 象 及 显...
