24/10/20太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板太阳能电池工艺培训资料太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板制绒和清洗制绒和清洗制绒和清洗制绒和清洗太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板概述概述概述概述形成起伏不平的绒面，增加硅片对太阳光的吸收去除硅片表面的机械损伤层清除表面油污和金属杂质硅片表面处理的目的：太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板硅片表面的机械损伤层硅片表面的机械损伤层硅片机械损伤层太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板制绒：表面织构化制绒：表面织构化单晶硅片表面的金字塔状绒面单晶硅片表面反射率太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板绒面腐蚀原理绒面腐蚀原理利用低浓度碱溶液对晶体硅在不同晶体取向上具有不同腐蚀速率的各向异性腐蚀特性，在硅片表面腐蚀形成角锥体密布的表面形貌，就称为表面织构化。角锥体四面全是由〈111〉面包围形成。反应式为：Si+2KOH+H2O→K2SiO3+2H2↑太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板绒面光学原理绒面光学原理¬制备绒面的目的：减少光的反射率，提高短路电流（Isc），最终提高电池的光电转换效率。¬陷光原理：当光入射到一定角度的斜面，光会反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收率。太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板绒面光学原理绒面光学原理¬陷光原理图示：太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板影响绒面质量的关键因素影响绒面质量的关键因素1.KOH浓度2.异丙醇浓度3.制绒槽内硅酸钾的累计量4.制绒腐蚀的温度5.制绒腐蚀时间的长短6.槽体密封程度、异丙醇的挥发程度太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板化学清洗原理化学清洗原理HF去除硅片表面氧化层：HCl去除硅片表面金属杂质：盐酸具有酸和络合剂的双重作用，氯离子能与Pt2+、Au3+、Ag+、Cu+、Cd2+、Hg2+等金属离子形成可溶于水的络合物。太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板注意事项注意事项安全KOH、HCl、HF都是强腐蚀性的化学药品，其固体颗粒、溶液、蒸汽会伤害到人的皮肤、眼睛、呼吸道，所以操作人员要按照规定穿戴防护服、防护面具、防护眼镜、长袖胶皮手套。一旦有化学试剂伤害了员工的身体，马上用纯水冲洗30分钟，送医院就医。太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板扩散扩散扩散扩散太阳电池制造的核心工序太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板扩散的目的：形成PN结PNPN结——太阳电池的心脏结——太阳电池的心脏太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板１．三氯氧磷（POCl3）液态源扩散２．喷涂磷酸水溶液后链式扩散３．丝网印刷磷浆料后链式扩散本公司目前采用的是第一种方法。太阳电池磷扩散方法太阳电池磷扩散方法太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板清洗饱和装片送片扩散关源，退舟方块电阻测量卸片磷扩散工艺过程磷扩散工艺过程太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板扩散装置示意图扩散装置示意图太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板POClPOCl33磷扩散原理磷扩散原理POCl3在高温下（>600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反应式如下：生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反应式如下：太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板在有氧气的存在时，POCl3热分解的反应式为：POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面，P2O5与硅反应生成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一层磷-硅玻璃，然后磷原子再向硅中进行扩散。POClPOCl33磷扩散原理磷扩散原理太阳能电池工艺培训资料PPTPPT文档演模板文档演模板由上面反应式可以看出，POCl3热分解时，如果没有外来的氧（O2）参与其分解是不充分的，生成的PCl5是不易分解的，并且对硅有腐蚀作用，破坏硅片的表面状态。但在有外来O2存在的情况下，PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气（Cl2）其反应式如下：生成的P2O5又进一步与硅作用，生成SiO2和磷原子，由此可见，在...
