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碎片内容
硅烷燃烧塔操作规程一、 硅烷塔介绍：HWR 型不锈钢硅烷燃烧净化塔是解决硅烷、氨气及其它可溶性气体的废气净化设备重要解决生产线 PECVD 工序产生的废气
硅烷塔采用双风机抽风
二、 开机前检查：1
检查电机、水泵电源线与否正常；2
检查中和液液位与否在规定范畴之内；3
检查补新风阀开度与否正常；4
检查压缩空气、氮气流量与否正常
三、 开机时：1
打开对应风阀，点击风机运行按钮开机；、2
风机与水泵开关次序：先开水泵后开风机
四、 开机后：1
检查风机运转状况与否正常；2
检查水泵运转状况及流量与否正常；3
检查硅烷塔负压与否正常，正常必须确保在 200Pa 左右
五、 关机时：风机与水泵关闭次序：先关风机，再关水泵
六、 巡检规定：1
每三个小时对硅烷塔进行检查；2
查看风机运转与否正常；3
检查水泵运行与否正常（涉及补水流量等）
该用户很懒，什么也没介绍
