硅烷燃烧塔操作规程一、 硅烷塔介绍：HWR 型不锈钢硅烷燃烧净化塔是解决硅烷、氨气及其它可溶性气体的废气净化设备重要解决生产线 PECVD 工序产生的废气。硅烷塔采用双风机抽风。二、 开机前检查：1. 检查电机、水泵电源线与否正常；2. 检查中和液液位与否在规定范畴之内；3. 检查补新风阀开度与否正常；4. 检查压缩空气、氮气流量与否正常。三、 开机时：1. 打开对应风阀，点击风机运行按钮开机；、2. 风机与水泵开关次序：先开水泵后开风机。四、 开机后：1. 检查风机运转状况与否正常；2. 检查水泵运转状况及流量与否正常；3. 检查硅烷塔负压与否正常，正常必须确保在 200Pa 左右。五、 关机时：风机与水泵关闭次序：先关风机，再关水泵。六、 巡检规定：1. 每三个小时对硅烷塔进行检查；2. 查看风机运转与否正常；3. 检查补新风阀开度与否正常；4. 检查水泵运行与否正常（涉及补水流量等）。
