GAS 系 统 甘 基 础 知 识概述HOOK-UP 专业认知一、 厂务系统 HOOK UP 定义HOOK UP 乃是藉由连接以传输 UTILITIES 使机台到达预期的 功能.HOOK UP 是将厂务提供的 UTILITIES (如 水,电,气,化学品 等),经由预留之 UTILITIES 连接 点 (PORT OR STICK), 藉 由 管 路 及 电 缆 线 连 接 至 机 台 及 其 附 属 设 备〔SUBUNITS〕.机台使用这些 UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台 使用后,所产生之可回收水或废弃物〔如废水,废气等〕,经由管路连接至 系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统 .HOOK UP 工程主要包括：CAD,MOVE IN,CORE DRILL,SEISMIC, VACUUM , GAS ,CHEMICAL,D.I ,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC, DRAIN.二、GAS HOOK-UP 专业知识的根本熟悉在半导体厂,所谓气体管路的 Hook-up〔配管衔接〕以 Buck Gas〔一 般性气体如 CDA、GN2、PN2、PO2、PHE、PAR、H2 等〕而言, 自供气源之气体存贮槽出口点经主管线〔Main Piping〕至次主管线〔Sub-Main Piping〕之 Take Off 点称为一次配 6「1 Hook-up〕,自 Take Off 出口点至机台〔Tool〕或设备〔Equipment〕的入口点,谓之 二次配 6「2 Hook-up〕.以 Specialty Gas 〔特殊性气体如：腐蚀性、 毒性、易燃性、加热气体等之气体〕而言其供气源为气柜〔GasCabinet〕.自 G/C 出 口点至 VMB〔Valve Mainfold Box.多功能阀箱〕 或VMP〔Valve Mainfold Panel 多功能阀盘〕之一次测 下「而 2»〕入 口点,称为一次配 6「1 Hook-up〕,由 VMB 或 VMP Stick 之二次侧〔Secondary〕出口点至机台人口点谓之二次配 6「2 Hook-up〕.GAS 简单知识根本掌握第一章气体概述由于制程上的需要,在半导体工厂使用了许多种类的气体,一般我们皆依气 体特性来区分,可分为一般气体(BULK GAS)与特殊气体(SPECIALTY GAS) 两大类.前者为使用量较大之气体,如 N2、CDA 等,因用量较大,一般气体常以大 宗气体称之.后者为使用量较小之气体? 一般指用量小,极少用量便会对人体造成生命威 胁的气体,如 SiH4、NF3 等1.1 Bulk Gas 介绍半导体厂所使用的大宗气体,一般有：CDA、GN2、PN2、PAr、PO2、PH2、PHe 等七种.1 .大宗气体的制造：CDA / IA (Clean Dry Air / Instrument Air)：CDA 之来源取之于大气经压缩机压缩后除湿,再经过滤器或活性炭吸附去除粉 尘及炭氢化合物以供给无尘...
