355 第 十 四 章 聚 合 物 材 料 掠 入 射 x 射 线 衍 射 § 1 4
1 引 言 1923 年 Compton 首 先 报 道 了 当 X 射 线 以 很 小 角 度 入 射 到 具 有 理 想 光 滑 平 整 表 面的 样 品 上 时 , 可 以 出 现 全 反 射 (亦 称 镜 面 反 射 )现 象
入 射 X 射 线 在 样 品 上 产 生 全 反 射 的条 件 是 掠 入 射 角 (Graz ing incidence angle) ci (c 临 界 角 )
由 于 照 射 到 样 品 上 的 入射 角 i 很 小 , 几 乎 与 样 品 表 面 平 行 ， 因 此 人 们 也 将 X 射 线 全 反 射 实 验 称 为 掠 入 射 衍射 (GID)实 验
当 X 射 线 以 临 界 角 c 入 射 到 样 品 上 时 ， 射 线 穿 透 样 品 深 度 仅 为 纳 米级 ， 可 以 测 定 样 品 表 面 的 结 构 信 息 ; 由 于 常 规 的 X 射 线 衍 射 入 射 到 样 品 表 面 的 角 度 较 大 , 大 部 分 射 线 透 射 到 样 品 中 的 深 度 也 较 大 , 是 Bragg 反 射 , 而 表 面 或 近 表 面 的 X 射 线 衍射 强 度 则 很 弱 ， 不 能 给 出 样 品 表 面 或 近 表 面 结 构 信 息
随 着 科 学 技 术 的 飞 跃 发 展 ，对 构 成 器 件 厚 度 为 纳 米 级 的 聚 合 物 薄 膜 已 得 到 广 泛 的 应 用
例如, 在 微电子器 件 中 经常 可 见到 多层聚 合 物 薄 膜 的 应 用, 为 了 使用性能 的 要求, 这种多层薄 膜 不 管它们 的 每层特性是 否相同， 彼此 都必须有 很 好的 粘合 性；在 医学 上 将
