透射电子显微镜 维基百科，自由的百科全书 （重定向自穿透式電子顯微鏡） 跳转到： 导航, 搜索 汉漢▼ 显示↓ 由透射电子显微镜拍摄的葡萄球菌细胞, 放大倍数 50000x. 透射电子显微镜（英语：Transmission electron microscopy，缩写 TEM），简称透射电镜，是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像，影像将在放大、聚焦后在成像器件（如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件）上显示出来。 由于电子的德布罗意波长非常短，透射电子显微镜的分辨率比光学显微镜高的很多，可以达到0.1～0.2nm，放大倍数为几万～百万倍。因此，使用透射电子显微镜可以用于观察样品的精细结构，甚至可以用于观察仅仅一 列 原子的结构，比光学显微镜所 能 够 观察到的最 小的结构小数万倍。TEM 在中和物 理 学和生物 学相关的许 多科学领 域 都 是重要 的分析 方法 ，如癌 症 研 究 、病 毒 学、材 料 科学、以及纳 米 技 术 、半 导体研 究 等 等 。 在放大倍数较 低 的时 候 ，TEM 成像的对 比度主 要 是由于材 料 不同的厚度和成分造 成对 电子的吸 收 不同而造 成的。而当 放大率倍数较 高的时 候 ，复 杂 的波动 作 用会 造 成成像的亮度的不同，因此需 要 专 业 知 识 来对 所 得 到的像进 行 分析 。通 过 使用TEM 不同的模 式，可以通 过 物 质 的化 学特 性 、晶 体方向、电子结构、样品造 成的电子相移 以及通 常的对 电子吸 收 对 样品成像。 第一台TEM 由马克斯·克诺尔和恩斯特·鲁斯卡在 1931 年研制，这个研究组于 1933 年研制了第一台分辨率超过可见光的 TEM，而第一台商用 TEM 于 1939 年研制成功。 目录 [隐藏] • 1 历史 o 1.1 最开始的研究 o 1.2 分辨率改进 o 1.3 进一步研究 • 2 背景知识 o 2.1 电子 o 2.2 电子源 o 2.3 电子光学设备 o 2.4 成像设备 • 3 组成结构 o 3.1 真空系统 o 3.2 样品台 o 3.3 电子枪 o 3.4 电子透镜 o 3.5 光圈孔径 • 4 成像方式 o 4.1 对比度信息 ▪ 4.1.1 亮场 ▪ 4.1.2 衍射对比度 ▪ 4.1.3 电子能量损失 ▪ 4.1.4 相衬技术 o 4.2 衍射模式 o 4.3 三维成像 • 5 样品制备 • 6 ...
