透射电镜的基本结构及应用举例 一、实验目的 1.理解透射电子显微镜(TEM : transmission electron microscope)的成像原理,观察基本结构; 2.掌握典型组织的TEM 像的基本特征和分析方法。 二、透射电镜的基本结构和成像原理 透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源,用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。它由电子光学系统(镜筒)、电源和控制系统、真空系统三部分组成。 显微镜原理对比图 )透射电子显微镜 b) 透射光学显微镜 电子枪发射的电子在阳极加速电压的作用下,高速地穿过阳极孔,被聚光镜会聚成很细的电子束照明样品。因为电子束穿透能力有限,所以要求样品做得很薄,观察区域的厚度在200nm 左右。由于样品微区的厚度、平均原子序数、晶体结构或位向有差别,使电子束透过样品时发生部分散射,其散射结果使通过物镜光阑孔的电子束强度产生差别,经过物镜聚焦放大在其像平面上,形成第一幅反映样品微观特征的电子像。然后再经中间镜和投影镜两级放大,投射到荧光屏上对荧光屏感光,即把透射电子的强度转换为人眼直接可见的光强度分布,或由照相底片感光记录,从而得到一幅具有一定衬度的高放大倍数的图像。 三、实验仪器 1.JEM-2010 型透射电子显微镜 JEM-2010 高分辨型透射电子显微镜,是日本电子公司的产品。它的主要性能指标是:晶格分辨率 0.14nm;点分辨率 0.23nm;最高加速电压200KV;放大倍数 2,000~1,500,000;样品台种类有:单倾、双倾。JEM-2010 还配有CCD 相机,牛津公司的能谱仪(EDS),美国 GATAN 公司的能量损失谱仪(EELS)。 可观察的试样种类:复型样品;金属薄膜、粉末试样;玻璃薄膜、粉末试样;陶瓷薄膜、粉末试样。 主要功能:JEM-2010 属于高分辨型透射电镜,可以进行高分辨图像观察,位错组态分析;第二相、析出相结构、形态、分布分析;晶体位向关系测定等。CCD 相机可以实现透射电子图像的数字化。能谱仪及能量损失谱仪可以获得材料微区的成分信息。 JEM 2010-透射电子显微镜 应用举例 1 元素分布分析 02040contentAl 01020Ti 04080 02040CoCr 0200Ni 04080Ta 02040W 0714Mo 合金元素在和中的分布 2 .微观形貌观察 镍基高温合金蠕变后的位错形貌 400nm A A C D C C C C B D 2 1 3 3. 电子衍射分析 四、实验报告要求 1.实验目的 2.画出透射电镜结构简图并说明成像原理 3.画图示意说明镍基合金中位错的形貌 4.举例说明透射电镜在材料中的具体应用(要求 3 个以上例子)