透射电镜的基本结构及应用举例 一、实验目的 1
理解透射电子显微镜(TEM : transmission electron microscope)的成像原理,观察基本结构; 2
掌握典型组织的TEM 像的基本特征和分析方法
二、透射电镜的基本结构和成像原理 透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源,用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器
它由电子光学系统(镜筒)、电源和控制系统、真空系统三部分组成
显微镜原理对比图 )透射电子显微镜 b) 透射光学显微镜 电子枪发射的电子在阳极加速电压的作用下,高速地穿过阳极孔,被聚光镜会聚成很细的电子束照明样品
因为电子束穿透能力有限,所以要求样品做得很薄,观察区域的厚度在200nm 左右
由于样品微区的厚度、平均原子序数、晶体结构或位向有差别,使电子束透过样品时发生部分散射,其散射结果使通过物镜光阑孔的电子束强度产生差别,经过物镜聚焦放大在其像平面上,形成第一幅反映样品微观特征的电子像
然后再经中间镜和投影镜两级放大,投射到荧光屏上对荧光屏感光,即把透射电子的强度转换为人眼直接可见的光强度分布,或由照相底片感光记录,从而得到一幅具有一定衬度的高放大倍数的图像
三、实验仪器 1
JEM-2010 型透射电子显微镜 JEM-2010 高分辨型透射电子显微镜,是日本电子公司的产品
它的主要性能指标是:晶格分辨率 0
14nm;点分辨率 0
23nm;最高加速电压200KV;放大倍数 2,000~1,500,000;样品台种类有:单倾、双倾
JEM-2010 还配有CCD 相机,牛津公司的能谱仪(EDS),美国 GATAN 公司的能量损失谱仪(EELS)
可观察的试样种类:复型样品;金属薄膜、粉末试样;玻璃薄膜、粉末试样;陶瓷薄膜、粉末试样
主要功能:JEM-2010 属于高分辨型透射电镜,可以进行高分辨图像