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HenneckeHennecke分选机培训资料分享分选机培训资料分享Author:Author:吴安邦吴安邦Timed:2011.9.20Timed:2011.9.20HenneckeHennecke分选机个模组介绍分选机个模组介绍11、、geometrygeometry：尺寸：尺寸//翘曲测试模组翘曲测试模组（（包含两种翘曲类型：包含两种翘曲类型：①①BowBow、②、②sorisori））22、、NVCDNVCD：隐裂、裂纹检测模组：隐裂、裂纹检测模组33、、StainStain：脏污检测模组：脏污检测模组44、、ContourContour：崩边、缺角检测模组：崩边、缺角检测模组55、、SawmarkSawmark：线痕检测模组：线痕检测模组66、、E+HE+H：：TVTV、、TTVTTV、、P/NP/N、、RR（电阻率）检测模组（电阻率）检测模组101101主控制服务器主控制服务器Measuringserver&PLCMeasuringserver&PLC：：11、模组屏蔽功能：、模组屏蔽功能：MeasuringserverMeasuringserver界面中界面中Extras→OExtras→Options→Einstellungen→stations→ptions→Einstellungen→stations→选择需要关闭选择需要关闭的模组，将的模组，将ActivateActivate（激活按钮）关闭点击（激活按钮）关闭点击SETSET按钮即按钮即可。可。22、模组状态查看：、模组状态查看：MeasuringserverMeasuringserver界面中界面中I/OSignaI/OSignals→AnalogI/O→Showanalogdatals→AnalogI/O→Showanalogdata（后面勾选上）（后面勾选上）chanel1chanel1、、chanel2chanel2、、chanel3chanel3分别对应分别对应E+HE+H三个厚三个厚度探头状态，有硅片经过时，后面框内数值应接近与度探头状态，有硅片经过时，后面框内数值应接近与00。。另外，此界面中另外，此界面中InputInput框内框内0000、……、……0707前面的选择项前面的选择项应全部选择上，说明各个模组正参与工作。应全部选择上，说明各个模组正参与工作。33、、E+HE+H模组调试：正常状态下使用万用表直流档测试模组调试：正常状态下使用万用表直流档测试E+HE+H模组控制柜上模组控制柜上VASUE+GNDVASUE+GND电压值应该为电压值应该为00，不对时可以，不对时可以用螺丝刀调节右边黑色旋钮即可。（待续）用螺丝刀调节右边黑色旋钮即可。（待续）E+HE+H模组控制柜上模组控制柜上BIOBIO控制板，其中控制板，其中B215B215控制控制33个厚度控制板、个厚度控制板、B218B218是是P/NP/N导电型号控制板、导电型号控制板、B264B264是电阻率测试探头控制板，如有厚度是电阻率测试探头控制板，如有厚度模组异常故障，可以将模组异常故障，可以将B215B215中中33个厚度控制板对换查看、排除异常个厚度控制板对换查看、排除异常情况。情况。44、、E+HE+H模组电阻率校准：校准前需要将“模组电阻率校准：校准前需要将“Res.usetempRes.usetemp使用温度常使用温度常量”选择项选择上。量”选择项选择上。zeropointmeasuringzeropointmeasuring设置为设置为90-12090-120范围内，范围内，K1K1值可以设置为出厂值（如遇异常状态）、值可以设置为出厂值（如遇异常状态）、K2K2值常量为值常量为-2-2（不可以（不可以更换，是仪器定制参数），温度设置为更换，是仪器定制参数），温度设置为23℃23℃。。55、、PLCPLC界面：界面：serverserver激活状态下点击空白处，出现的界面激活状态下点击空白处，出现的界面11、、5band>对应上料台（测量模组）对应上料台（测量模组）22、、6<6zyinder6<6zyinder▁▁1>1>对应一号下料对应一号下料台台22、、7<6zyinder7<6zyinder▁▁2>2>对应二号下料台。对应二号下料台。77、、PLCPLC界面：界面：serverserver激活状态下点击激活状态下点击serverserver界面，界面，NodeNode模块中选模块中选择关闭对应三个模块，择关闭对应三个模块，off/onoff/on：关闭：关闭//开启（可以用于模组故障解开启（可以用于模组故障解决）、决）、LampLamp：对应报警装置：对应报警装置BellBell、、signallampsignallamp、、BoxalarmBoxalarmWaferqualityWaferquality模拟器：模拟器：SimulationSimulation后面勾选择上，将硅片调至后面勾选择上，将硅片调至对应片盒，按顺序对应片盒，按顺序Class□→Class□→硅片、□→片盒，可以将硅片跑至硅片、□→片盒，...