1 精密分析仪器简介 扫描电子显微镜—能谱仪（SEM－EDS） 仪器型号：SEM：JSM－5600LV ； EDS：IE 300 X 生产厂家：SEM：日本JEOL；EDS：英国Oxford 主要配置： SEM：二次电子探测器，背散射电子探测器；EDS：Si(Li)超薄窗；X射线探测器，全数字化脉冲处理器；喷金仪，喷碳仪
主要技术指标： SEM：高真空分辨率 3
5nm，低真空分辨率 4
5nm; SEM: 放大倍数范围 18-300,000； EDS：Mn的 Kα 处的分辨率优于 132eV；可测元素范围 4Be-92U
主要用途： 固体样品表面微区形貌观察； 材料断口形貌及其内部结构分析； 微粒或纤维形状观察及其尺寸分析； 固体样品表面微区成分的定性和半定量分析
2 透射电子显微镜（TEM） 仪器型号：H －800 生产厂家：日本Hitachi 主要配置： SEM探测器，STEM探测器，真空镀膜仪，超薄切片机
主要技术指标： 分辨率：可倾动角±25°时，晶格分辨0
204 nm，点间距 0
45 nm； 放大倍数：电子图象：1000 ～ 6×105（30 档可调），选区图象：1000～3×105（25 档可调）； 加速电压：200 kV、175kV、150kV、100kV、75kV
主要用途： 分析金属材料的晶体缺陷、晶界、相界等微结构； 分析高分子材料及其复合材料的形态结构； 微粒形状观察及其尺寸分析； 染色体、核糖体、蛋白质、血红蛋白、细菌等的形状观察
3 扫描探针显微镜（SPM） 仪器型号：NanoScope Ⅳ 生产厂家：美国Veeco 主要配置： 接触模式、轻敲模式；静电力模式、磁力模式、扫描隧道模式、摩擦力模式；配有液体样品池，可用于分析液体环境中的样品；加热台，控温范围：室温～250℃
