广东汉能光伏有限公司Confidential广东汉能光伏有限公司PECVD培训教程广东汉能光伏有限公司Confidential目录一、PECVD简介二、PECVD操作工位介绍三、PECVD装片四、PECVD预热五、PECVD沉积六、PECVD卸片七、工件架清洁八、各工位检查项目九、异常处理十、PECVD所用气体及性质广东汉能光伏有限公司Confidential一、PECVD简介PECVD全称为PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，即等离子增强化学气相沉积。PECVD在非晶硅薄膜中的用途：目前常用的衬底为导电玻璃（TCO），通过在TCO导电玻璃的导电层上沉积PIN的非晶硅薄膜初步形成一大块电池芯片。PECVD工作原理：在真空状态下，加在电极板上的射频电场，使反应室气体发生辉光放电，在辉光发电区域产生大量的电子。这些电子在电场的作用下获得充足的能量，其本身温度很高，它与气体分子相碰撞，使气体分子活化。它们吸附在衬底上，并发生化学反应生成介质膜，副产物从衬底上解吸，随主气流由真空泵抽走。广东汉能光伏有限公司Confidential二、PECVD操作工位介绍PECVD段有四个工位：1、二次清洗下料即为PECVD段上片，将二次清洗后的TCO玻璃装入工件架，为预热做准备。2、数控操作（包括预热和沉积）（1）预热：将装在工件架上的TCO玻璃加热到215℃温度，达到PECVD沉积的温度需求。（2）沉积：在预热好的TCO玻璃上沉积上所需结构类型的电池。3、卸片沉积好的TCO玻璃出炉后，冷却到55℃以下，将其从工件架上卸下，放到芯片周转车上。为二次激光上料做准备。4、工件架擦拭/清洗（1）擦拭：卸片完后的工件架，在上片前要擦拭清洁。（2）清洗：在擦拭的基础上，使用10次后的工件架要清洗清洁。广东汉能光伏有限公司Confidential三、PECVD装片防护用品护腕、手套（尼龙手套、乳胶手套）、口罩。安全事项1：使用尼龙手套、乳胶手套时需检查是否干净、无破损。若有破损、污渍则需及时更换。2：在该段进行操作时必须确保防护用品佩戴正确、完整。3：在操作过程中保证玻璃的搬运不会对自己、周围的人和设备造成伤害。4：发生特殊情况时要及时通知组长。广东汉能光伏有限公司Confidential三、装片——上片作业1：在接片的规程中，检查导电玻璃是否已经清洗干净、TCO是否良好，是否有刻划激光一；若清洗不干净（污点在受光面上须用粘酒精的无尘布擦拭），则重新进行二次清洗；若没有刻划激光一，刻划不断或刻划异常，则将其放置芯片周转车上，并及时通知组长与QC人员确认；2：当导电玻璃快脱离传送轴时，作业员双手接稳导电玻璃长边，将玻璃的短边对齐工件架的上下卡槽，并保证导电玻璃与铝板平行。缓慢的往卡槽里送导电玻璃，当短边在工件架卡槽夹稳时，作业者再将夹持导电玻璃上端边的手把住玻璃悬空的短边，另一只手依旧托住玻璃的底部长边，用掌心推悬空的短边，使导电玻璃缓缓地进入工件架，同时确保正极在上。3：在工件架右边处，先装单数片，后装双数片。防止出现个别位置漏装导电玻璃，或者出现装错位置。装片整体动作尽量缓慢、柔和、减少导电玻璃，特别是受光面因高速摩擦而产生的刮伤。装每片速度不得高于15cm/s,每装一片的时间不得少于8秒。一个工件架共可以装72片。4：用万用表测试导电膜是否向外，可以把万用表打到电阻挡，检测激光一两根线间的电阻，若有阻值说明是导电膜向外，若无阻值说明导电膜向里。5：调整导电玻璃在工件架内的深度，使玻璃长边距离电极板两侧的位置一致。6：以上步骤完成后填写好相关表单。广东汉能光伏有限公司Confidential三、上片操作流程图双手抵住玻璃两角，将玻璃翻起，手不能触摸膜面双手握住玻璃中间，将其抬出TCO自检工件架上片广东汉能光伏有限公司Confidential四、PECVD预热1：作业员根据功率匹配表，在进入预热炉前匹配好相对应的沉积炉。2：工件架结构：18个电极，72个卡槽，36个小腔室。3：检测：用万用表检测膜面是否装反，发声面则为TCO膜面（受光面紧贴基板，膜面朝外，正极朝上）。4：推片：两个人进行推片，一前一后，前面往后面推，把芯片推入工件架半圆弧内，先推单数面再推双数面。广东汉能光伏有限公司Confidential四、预热——工件架推入预热炉1：工件架后门（以工件架电极方向为前门...
