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洁净车间管理

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洁净室运行管理的一些问题 一、过滤器的基本知识及其维护管理 (一)过滤器的基本知识 过滤器是洁净室的主要净化设备,是空气净化的主要手段。因此,对于从事洁净室设计、建造和维护管理人员了解和掌握过滤器的基本知识是十分重要的。 1、过滤器的分类 按过滤器的性能(效率、阻力、容尘量)来划分,通常将其划分成粗效、中效、高中效、亚高效、高效(HEPA)和超高效(ULPA)六类过滤器。 我国国家标准《空气过滤器》GB/T 14295-93 中将不同过滤器的效率和阻力规定如下: 性能指标 性能类别 额定风量下的大气尘限径计数效率 (E %) 额定风量下的初阻力 (Pa) 粗效 ≥ 5.0μm 80 > E > 20 ≤ 50 中效 ≥ 1.0μm 70 > E > 20 ≤ 80 高中效 ≥ 1.0μm 90 > E > 70 ≤ 100 亚高效 ≥ 0.5μm 99.9 > E > 95 ≤ 150 国家标准《高效空气过滤器》GB 13554-92 中规定将高效过滤器按性能划分为 A、B、C、D 四类。D 类又通称为超高效过滤器(或称为 0.1μm 高效过滤器或超低透过率过滤器)。 性能指标 性能类别 效 率 (E %) 额定风量下的初阻力(Pa) A 额定风量下的钠焰效率 ≥ 99.9 ≤ 190 B 额定风量和20%额定风量下的钠焰效率 ≥ 99.99 ≤ 220 C 额定风量和20%额定风量下的钠焰效率 ≥ 99.999 ≤ 250 D 额定风量和20%额定风量下的≥0.1μm 粒子效率 ≥ 99.999 ≤ 280 国外将超高效过滤器(ULPA)的过滤效率指标规定为对于≥0.12μm 粒子的过滤效率E≥99.9995%。 关于我国和欧美对过滤器的分类比较如下: 我 国 标 准 GB/T 14295 一 般 通 风 用 洁 净 室 用 粗 效 中 效 高 中 效 亚 高 效 高 效 超 高 效 美 国 ASHRAE标 准 C1 C2 C3 C4 L5 L6 L7 L8 M9 M10 M11 M12 M13 M14 H15 H16 UH17 UH18 UH19 UH20 欧 洲 新 标 准 G1 G2 G3 G4 F5 F6 F7 F8 F9 H10 H11 H12 H13 H14 U15 U16 U17 欧 洲 老 标 准 EU1 EU2 EU3 EU4 EU5 EU6 EU7 EU8 EU9 EU10 EU11 EU12 EU13 EU14 效 率 E( %) 65 80 90 60 80 90 85 95 99.5 99.95 99.995 99.9995 99.99995 计 重 法 比 色 法 MPPS 法 ( DOP 法 ) 2、 过 滤 器 的 过 滤 机 理 过 滤 机 理 主 要 有 拦 截 ( 过 筛 )、 惯 性 碰 撞 、 布 ...

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