Hitachis3400N扫描电镜中文操作手册(简易版)

Hitachi S-3400N II 型 简易使用手册 1/7 Hitachi S-3400N II 型 简易使用手册 一、开机 1．打开配电箱总电源，开启UPS（若配备）。 2．合上背面总电源闸，确认“STAGE”闸和“DISPLAY”闸均为合闸状态。 3．将前面板钥匙从“OFF”转经“START”后自动转回“ ON”。 3．电脑启动后，同时按下“Ctrl”+“Alt”+“Delete”，用户名为“S-3400”，密码无，单击“OK”键，进入系统。随后出现 S-3400N 登陆框。用户名为“S-3400”，密码无，单击“OK”键，进入程序。 二、放置样品 1．持续按住前面板“AIR”按钮 1 秒以上至指示灯亮，或单击操作界面右上角“AIR”键至该键变为灰色。放气过程中，出现“Specimen Setting ”对话框，同时出现放气进度指示条，直至进度条显示“The chamber has been aired. Changing a sample is now possible”时，单击对话框中的“Specimen Setting”键。 Hitachi S-3400N II 型 简易使用手册 2/7 5．将处理完毕的样品固定于样品台上，精确测量高度后，放入样品仓。在样品仓打开的状态下，在“Specmen/Detector Setting”对话框内选择合适的Size 和 Height，单击“Stage Move”键，等样品台停止上升后，确认样品不能碰到样品仓口的限高片，平稳推入样品台。 Hitachi S-3400N II 型 简易使用手册 3/7 6．按前面板“EVAC”按钮至指示灯亮，或单击操作界面左上角“EVAC”键至该键变为灰色。 三、样品观察 确认样品室已高真空，“ON”亮显后，根据不同样品的观察需要，在屏幕右边操作面板中的“Cond”菜单栏“ELECTRON BEAM”选区，“Probe Current”下拉列表中选择合适的探针电流，“Vacc”下拉列表中选择合适的加速电压；在“Image”菜单栏“SCREEN MODE ”选区中选择使用“Full（全屏）”、“Dual（双屏）”或“Small（常规小屏）”观察方法；在“DETECTOR”选区中选择使用“SE”或“BSE”探头；也可以单击操作界面左上角 Vacc 区域，出现“Setup”后，在“Optics”菜单栏下，“Vacc”下拉列表中选择合适的加速电压。单击操作界面左上角“ON”键，加高压。 在“Stage”菜单栏“Z/TILT”选区单击“Analysis””确定样品台的高度位置。 探针电流（Probe Current ）与图像质量、工作距离大小和电镜观察效果关系如下： 探针电流设定 0 50 100 照射电流(A) W D 短 W D 长 分辨率 分辨率高 分辨率低 二次电子信号 景深浅 景深深 图象粗糙度...