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Hitachis3400N扫描电镜中文操作手册(简易版)

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Hitachi S-3400N II 型 简易使用手册 1/7 Hitachi S-3400N II 型 简易使用手册 一、开机 1.打开配电箱总电源,开启UPS(若配备)。 2.合上背面总电源闸,确认“STAGE”闸和“DISPLAY”闸均为合闸状态。 3.将前面板钥匙从“OFF”转经“START”后自动转回“ ON”。 3.电脑启动后,同时按下“Ctrl”+“Alt”+“Delete”,用户名为“S-3400”,密码无,单击“OK”键,进入系统。随后出现 S-3400N 登陆框。用户名为“S-3400”,密码无,单击“OK”键,进入程序。 二、放置样品 1.持续按住前面板“AIR”按钮 1 秒以上至指示灯亮,或单击操作界面右上角“AIR”键至该键变为灰色。放气过程中,出现“Specimen Setting ”对话框,同时出现放气进度指示条,直至进度条显示“The chamber has been aired. Changing a sample is now possible”时,单击对话框中的“Specimen Setting”键。 Hitachi S-3400N II 型 简易使用手册 2/7 5.将处理完毕的样品固定于样品台上,精确测量高度后,放入样品仓。在样品仓打开的状态下,在“Specmen/Detector Setting”对话框内选择合适的Size 和 Height,单击“Stage Move”键,等样品台停止上升后,确认样品不能碰到样品仓口的限高片,平稳推入样品台。 Hitachi S-3400N II 型 简易使用手册 3/7 6.按前面板“EVAC”按钮至指示灯亮,或单击操作界面左上角“EVAC”键至该键变为灰色。 三、样品观察 确认样品室已高真空,“ON”亮显后,根据不同样品的观察需要,在屏幕右边操作面板中的“Cond”菜单栏“ELECTRON BEAM”选区,“Probe Current”下拉列表中选择合适的探针电流,“Vacc”下拉列表中选择合适的加速电压;在“Image”菜单栏“SCREEN MODE ”选区中选择使用“Full(全屏)”、“Dual(双屏)”或“Small(常规小屏)”观察方法;在“DETECTOR”选区中选择使用“SE”或“BSE”探头;也可以单击操作界面左上角 Vacc 区域,出现“Setup”后,在“Optics”菜单栏下,“Vacc”下拉列表中选择合适的加速电压。单击操作界面左上角“ON”键,加高压。 在“Stage”菜单栏“Z/TILT”选区单击“Analysis””确定样品台的高度位置。 探针电流(Probe Current )与图像质量、工作距离大小和电镜观察效果关系如下: 探针电流设定 0 50 100 照射电流(A) W D 短 W D 长 分辨率 分辨率高 分辨率低 二次电子信号 景深浅 景深深 图象粗糙度...

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