ICS 17.020 A52 备案号： DB23 黑龙江省地方标准 DB 23/ XXXXX—XXXX 光学气浮隔微振平台技术基本要求 Optical platform with air floating vibration technology basic requirements （报批稿） XXXX - XX - XX 发布 XXXX - XX - XX 实施 黑龙江省质量技术监督局 发布 DB23/ XXXXX—XXXX I 目 次 前言 ............................................................................... III 1 范围 .............................................................................. 1 2 规范性引用文件 .................................................................... 1 3 术语和定义 ........................................................................ 1 4 型式与基本参数 .................................................................... 2 4.1 分类 .......................................................................... 2 4.1.1 控制类型 .................................................................. 2 4.1.2 平台结构类型 .............................................................. 2 4.2 基本参数 ...................................................................... 2 4.2.1 供气气源参数 .............................................................. 2 4.2.2 供电电源参数 .............................................................. 2 5 技术要求 .......................................................................... 2 5.1 正常工作环境条件要求 .......................................................... 3 5.2 外观和结构要求 ................................................................ 3 5.3 固有频率 ...................................................................... 3 5.4 振动传递率 .................................................................... 3 5.5 平台表面平面度 ................................................................ 3 5.6 承载 .......................................................................... 3 5.7 平台浮起不感带范围 ....................................
