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Fe-Ni基高频软磁多层膜的制备及其性能研究中期报告

Fe-Ni基高频软磁多层膜的制备及其性能研究中期报告_第1页
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精品文档---下载后可任意编辑Fe-Ni 基高频软磁多层膜的制备及其性能讨论中期报告本讨论旨在制备 Fe-Ni 基高频软磁多层膜,并讨论其微观结构和物理特性。本次中期报告主要介绍了讨论进展和取得的成果。1. 制备方法本讨论采纳磁控溅射技术在单晶硅衬底上制备了 Fe-Ni 基高频软磁多层膜。具体步骤如下:1)清洗衬底,使其表面洁净无尘;2)进行贴膜,在真空室内进行磁控溅射,控制膜层的厚度和成分;3)退火处理,优化膜层的微观结构和磁性能。2. 结果及分析经过实验,本讨论成功制备了 Fe-Ni 基高频软磁多层膜,并分别在不同温度下进行了退火处理。通过扫描电子显微镜(SEM)观察,发现在 700℃退火处理下,膜层结晶度更高,颗粒尺寸更小,分布更均匀。在 X 射线衍射(XRD)测试中,同样可以发现,在 700℃退火处理下,样品的晶体结构更为完整。此外,磁性能测试结果显示,样品表现出了良好的软磁特性,具有高的饱和磁化强度和低的磁滞回线。在高频特性测试中,样品在 1 GHz频率下表现出了较好的磁化反转特性。3. 展望目前,本讨论成功制备了 Fe-Ni 基高频软磁多层膜,并初步测试了其微观结构和物理特性。未来,我们将继续进行深化讨论,探究不同成分和结构对 Fe-Ni 基高频软磁多层膜性能的影响,进一步改善膜层的微观结构和优化其磁性能,使其在高频电子领域有更为广泛的应用。

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