第 1 页 共 12 页 双频激光干涉仪使用操作说明 一、 操作步骤 1.系统的相互连接（如图1 所示） a.通过PCM20 接口，用通讯电缆将 IBM thinkPad 笔记本电脑与ML10 激光干涉仪连接。 b.通过PCM20 接口，用通讯电缆将 IBM thinkPad 笔记本电脑与EC10 环境补偿单元连接，并将空气及材料温度传感器放置在机床适当位置。 c.用通讯电缆将 IBM thinkPad 笔记本电脑与HP1180c 打印机连接。 d.将PC10、ML10、EC10 分别接上电源线，再接到电源插板上。 e.通过稳压电源，将总电源线接到220V 接地电源上。 2.激光的预热 闭合激光干涉仪开关，使激光预热大约15～20 分钟，等激光指示灯出现绿色后，表明激光已稳定。 3.测量软件的启动 a.打开笔记本电脑，启动“Renishaw Laser10”测量软件 b.双击“线性测长”进入“Renishaw Laser10 Capture”测量子软件。 4.光学镜的安装（如图1 所示） a.将ML10 激光干涉仪固装在测量三脚架上。 b.将反射镜用夹紧块、安装杆、磁性表座固定在机床运动部件上。 c.将反射镜和分光镜组合组成干涉镜；将干涉镜用夹紧块、安装杆、磁性表座固定在机床不可运动部件或其它固定部件上。 第 2 页 共 12 页 图 1 用于测量定位的典型系统设置。 5.激光器、干涉镜及反射镜的调整 ①.线性干涉镜及反射镜的定位 a.放置三脚架及激光器，使其垂直指向测量镜组。 利用机架作为瞄准线，使激光器大略与运动轴准直。 b.旋转光闸，以便激光器发出图 2 中所示的直径变小的光束。光束的直径越小，越容易看出光路是否准直。 c.移动机床，使线性反射镜靠近激光器，并将一个光靶置于前端，白点在上。 平移激光器或机床，直到光束击中光靶上的白点,如图3所示。此时线性干涉镜不应置于激光器及线性反射镜之间。 第 3 页 共 12 页 图2 图3 d.取下光靶，并检查从反射镜返回的激光束是否击中 ML10 光闸上的光靶中心。 如果没有，则平移激光器或机床，直到激光束击中光靶的中心，如图4所示。 图4 图5 e.将线性干涉镜与反射镜靠得越近越好，如图 5所示。如果它们的位置离得很近，则只需调整激光头就能完成其余部分的准直调整。 f.确保干涉镜和反射镜的外表面互相准直并与机床垂直。 如果干涉镜放置歪斜，精度就会下降，并可能因光束被遮断而导致检测失败。 一般说来，在进行滚摆、俯仰和偏转测量时，最好使干涉镜的准直角度小于 ±2°，这通常可通过肉眼完成。 g .将光靶安...
