精品文档---下载后可任意编辑一、 操作界面二、 系统安装1、电源要求:220VAC,50HZ2、工作台要求:长 120cm * 宽 100cm3、小心拆开包装箱,取出真空泵和溅射仪主机,并置于工作台上,真空泵放在溅射仪主机的后面。4、在真空泵上安装上油雾过滤器,并在进油口倒入适量的真空泵油,确保真空泵油在观察窗口的上线和下线之间(设备出厂时有可能已在真空泵中装有适当真空泵油);5、小心将溅射仪主机上的溅射头抬起,并尽量向后仰,确保溅射头不会倒下。移走溅射头保护垫,按上玻璃样品室,再小心轻轻的放下溅射头;6、用金属真空管件连接真空泵和溅射仪主机,连接前在真空泵上先装上真空管转接头,连接时每个接口都要垫上真空垫圈,连接后注意锁紧接口,以防真空泄漏;7、用电源线将真空泵和溅射仪主机连接上,并将真空泵上的开关打到开的位置;8、接上溅射仪主机的电源线,并打开溅射仪主机后面的进气口三、 系统测试真空系统:1、检查电压是否合适,插上溅射仪主机电源2、关闭气体控制阀3、打开 POWER(控制单元)4、让泵暖机 5MIN5、关掉 POWER,拔出溅射头上盖的放气阀放气,放气完后再放下阀6、再开 POWER,检查 0.1mb 耗时,1.5 分钟左右为合适。7、运行 15MIN,检查真空是否到 0.01mb 左右。8、关掉电源溅射单元:1、2、调节前面控制面板上的气体控制阀,将左右3、顺时针旋转主机后面的溅射电流控制旋钮到底4、按 TEST,可见辉光放电,此时 mb 灯熄灭,mA 灯亮,量表显示 45mA 左右。精品文档---下载后可任意编辑四、 镀膜步骤1、(如接空气则不需要)A、检查 time value 为 30 秒,如有需要,重新设定B、等压力稳定后,假如不是,重新设定2、按下 TEST 键,调节后面的溅射电流控制旋钮至 20mA,再释放 TEST3、按下 start 键开始镀膜4、镀膜完成后,拔出溅射头上盖的放气阀放气5、完全放气后,打开溅射头,取出样品6、若所镀膜的厚度不适,可更改溅射时间,先不要改电流或气体压力。五、 设备保养1、设备需远离热源,工作环境需要保持干燥、洁净;2、定期用沾有少量丙酮的抹布擦拭真空室,注意不要打破玻璃真空圈;3、更换靶材时,请致电本公司,在本公司的专业指导下更换;4、真空泵油更换周期为:12 个月;5、油雾过滤器更换周期为:24 个月。