精品文档---下载后可任意编辑一、 操作界面二、 系统安装1、电源要求：220VAC，50HZ2、工作台要求：长 120cm * 宽 100cm3、小心拆开包装箱，取出真空泵和溅射仪主机，并置于工作台上，真空泵放在溅射仪主机的后面。4、在真空泵上安装上油雾过滤器，并在进油口倒入适量的真空泵油，确保真空泵油在观察窗口的上线和下线之间（设备出厂时有可能已在真空泵中装有适当真空泵油）；5、小心将溅射仪主机上的溅射头抬起，并尽量向后仰，确保溅射头不会倒下。移走溅射头保护垫，按上玻璃样品室，再小心轻轻的放下溅射头；6、用金属真空管件连接真空泵和溅射仪主机，连接前在真空泵上先装上真空管转接头，连接时每个接口都要垫上真空垫圈，连接后注意锁紧接口，以防真空泄漏；7、用电源线将真空泵和溅射仪主机连接上，并将真空泵上的开关打到开的位置；8、接上溅射仪主机的电源线，并打开溅射仪主机后面的进气口三、 系统测试真空系统：1、检查电压是否合适，插上溅射仪主机电源2、关闭气体控制阀3、打开 POWER（控制单元）4、让泵暖机 5MIN5、关掉 POWER，拔出溅射头上盖的放气阀放气，放气完后再放下阀6、再开 POWER，检查 0.1mb 耗时，1.5 分钟左右为合适。7、运行 15MIN，检查真空是否到 0.01mb 左右。8、关掉电源溅射单元：1、2、调节前面控制面板上的气体控制阀，将左右3、顺时针旋转主机后面的溅射电流控制旋钮到底4、按 TEST，可见辉光放电，此时 mb 灯熄灭，mA 灯亮，量表显示 45mA 左右。精品文档---下载后可任意编辑四、 镀膜步骤1、（如接空气则不需要）A、检查 time value 为 30 秒，如有需要，重新设定B、等压力稳定后，假如不是，重新设定2、按下 TEST 键，调节后面的溅射电流控制旋钮至 20mA，再释放 TEST3、按下 start 键开始镀膜4、镀膜完成后，拔出溅射头上盖的放气阀放气5、完全放气后，打开溅射头，取出样品6、若所镀膜的厚度不适，可更改溅射时间，先不要改电流或气体压力。五、 设备保养1、设备需远离热源，工作环境需要保持干燥、洁净；2、定期用沾有少量丙酮的抹布擦拭真空室，注意不要打破玻璃真空圈；3、更换靶材时，请致电本公司，在本公司的专业指导下更换；4、真空泵油更换周期为：12 个月；5、油雾过滤器更换周期为：24 个月。
