1 扫 描 电 镜 显 微 分 析 实 验 报 告 一 、实 验 目的 1 、了解扫描电镜的基本结构和原理。 2 、掌握扫描电镜试样的制备方法。 3 、了解扫描电镜的基本操作。 4 、了解二次电子像、背散射电子像和吸收电子像，观察记录操作的全过程及其在组织形貌观察中的应用。 2 二 、实验内容 1、根据扫描电镜的基本原理，对照仪器设备，了解各部分的功能用途。 2、根据操作步骤，对照设备仪器，了解每步操作的目的和控制的部位。 3、在老师的指导下进行电镜的基本操作。 4、对电镜照片进行基本分析。 三、实验设备仪器与材料 Quanta 250 FEG 扫描电子显微镜 四、实验原理 （一）、扫描电子显微镜的基本结构和成像原理 扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope,简称 SEM）是继透射电镜之后发展起来的一种电子显微镜简称扫描电镜。它是将电子束聚焦后以扫描的方式作用样品，产生一系列物理信息，收集其中的二次电子、背散射电子等信息，经处理后获得样品表面形貌的放大图像。 3 扫 描 电 镜 主 要 由 电 子 光 学 系 统 ； 信 号 检 测 处 理 、图像显示和记录系 统 及真空系 统 三大系 统 组成。其中电 子 光 学 系 统 是扫 描 电 镜 的主 要 组成部分，主 要 组成：电 子 枪、电 磁透镜 、光 栏、扫 描 线圈、样品室等，其外形和结构原理 如图 1 所示。 由 电 子 枪发射出的电 子 经过聚光镜 系 统 和末级透镜 的会聚作用形成一直径很小的电 子 束，投射到试样的表面，同时，镜 筒内的偏置线圈使这束电 子 在试样表面作光 栅式扫 描 。在扫描 过程中，入射电 子 依次在试样的每个作用点激发出各种信 息，如二次电子 、背散射电 子 、特征 X 射线等。安装在试样附近的探测 器分别检 测 相关反应表面形貌特征的形貌信 息，如二次电 子 、背散射电 子 等，经过处 理 后送到阴极射线管（简称 CRT）的栅极调制其量度，从而在与入射电 子 束作同步扫 描 的 CRT 上显示出试样表面的形貌图像。根据成像信 号 的不同，可以在 SEM的 CRT 上分别产生二次电 子 像、背散射电 子 像、吸收电 子 像、 X 射线元素分布图等。本实验主 要 介绍的二次电 子 像和背散射电 子 像。 （二）、扫 描 电 子 显微镜 的特点 1、分辨本领强。其分辨率可达 1nm 以下，介于光 学 显微镜 的极限分辨率...
