1、目的:规范层压工序制程能力的管控。 2、范围:适用于层压工序制程能力的管控。 3、职责: 3.1 层压工序工艺工程师按规范要求管控该工序制程能力; 3.2 技术中心负责该规范的编制与更新。 4、模块划分: 序号 规范模块 内容 1 制程目标 工序产品能力、设备能力、制程能力、产品类型及工艺流程 2 工序资源 工序设备物料资源 3 基本原理 工序药水反应机理、设备作用原理 4 工艺原则 工序参数设定原则、生产控制原则及特殊产品要求 5 工艺维护 工序维护保养内容方法和标准 6 制程监控 工序制程监控内容及制程测试方法和标准 7 制程改善 制程状态改善方法和途径 8 偏差处理 规范和生产实际偏差的处理方法和途径。 5、制程目标 5.1 产品能力:详见附件三《层压工序产品能力参数表》 5.2 设备能力:详见附件二《层压工序设备能力参数表》 5.3 制程能力:详见附件四《层压工序制程能力参数表》 5.4 产品类型和工艺流程 产品类型 工艺制作流程 常规板 来板→棕化→预叠→叠合→压合→X-Ray 钻靶→铣边→出板 内层底铜大于等于20Z 板,盲孔板、高频板 来板→棕化→烘板→预叠→叠合→压合→X-Ray 钻靶→铣边→出板 内层过电镀的板 来板→烘板→棕化→烘板→预叠→叠合→压合→X-Ray 钻靶→铣边→出板 6、工序资源 6.1 设备资源:详见附件六《层压工序设备列表》 6.2 物料资源:详见附件五《层压工序物料列表》 7、基本原理 7.1 棕化 内层芯板经过棕化处理后,在铜面形成一层均匀的棕色有机金属膜,可增强铜面与半固化片的结合力,同 时 在高温 压合过程中,阻 止 铜与半固化片的氨 基发 生反应。产品实现 的基本原理有药水作用原理、设备作用原理等。 7.1.1 棕化反应机理 7.1.1.1 酸 洗 酸 洗 的主 要作用是 去 除 铜表面氧 化物,中和残 余 退 膜液 ,粗 化铜面,保证 稳 定的微 蚀 、成膜及着 色。酸 洗 段 的主要成分为 过硫 酸 钠 ( NaPS)、H2SO4。其 反应机理如 下 : Cu+CuO+H2SO4+Na2S2O8→2CuSO4+Na2SO4+H2O 影 响 酸 洗 效 果 的因 素 及影 响 趋 势 如 下 : 序号 影响因素 具体影响 1 NaPS 浓度 NaPS 浓度是影响酸洗段效果的主要影响因素,随着NaPS 浓度的增大,微蚀量增大,NaPS浓度过高会影响内层铜厚及线宽的控制。 2 H2SO4浓度 H2SO4浓度是影响酸洗效果的因素之一,H2SO4浓度过低,酸洗效果不...