浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号： Q02-09 单晶炉操作规程 版本号：A/1 页码：第1 页 共35 页 生效日期：2008 年5 月30 日 一、目 的： 为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常进行，特制订本规程。 二、范 围： 适用于 FT-CZ2008 型单晶炉的操作。 图 1 FT-CZ2008型单晶炉 图 2 操作柜 三、依 据： 依据为直拉法生长硅单晶的工艺和 FT-CZ2008 型单晶炉的性能。 批 准 审 核 编 制 修改履历 页 码 内 容 状 态 备 注 浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号： Q02-09 单晶炉操作规程 版本号：A/1 页码：第2 页 共35 页 生效日期：2008 年5 月30 日 四、权责单位： 本规程的权责单位为浙江昱辉阳光能源有限公司硅单晶三厂技术部。 五、作业流程： 作业准备取单晶和籽晶石墨件取出冷却 真空过滤器清扫真空泵油检查与更换石墨件清扫炉室清扫石墨件安装石英坩埚安装硅料安装籽晶安装抽空、检漏充氩气、升功率、熔料温度稳定引晶和缩颈放肩转肩等径生长收尾降功率、停炉热态检漏 六、作业内容： 1、作业准备 ⑪、进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 ⑫、开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无异常后方能开炉。 ⑬、准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。 ⑭、准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。 ⑮、准备取单晶用的专用取棒车、装石墨件的不锈钢长条车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车，并处理干净。 ⑯、用毛巾将炉体从上到下擦扫一遍，擦扫时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏，并把炉子周围清扫干净。 2、取单晶和籽晶 ⑪、点击【氩气】进入氩气控制菜单，在【MFC 流量值】中分步递增到 100.0SLM，并先后点击【MFC】和【上炉体气阀】的【开启】按钮。炉体压力达到 760Torr后，先后点击【上炉体气阀】和【MFC】的【关闭】按钮。 浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号： Q02-09 单晶炉操作规程 版本号：A/1 页码：第3 页 共35 页 生效日期：2008 年5 月30 日 图3 【氩气】操作界面 ⑫、拧开上炉体螺母，将操作手柄上的【HOIST】旋钮打向 UP 位置点动上升炉筒至适当位置，将操作手柄上的【SEED】旋钮打向 UP 位置上升晶棒到翻板阀室以上，顺时针转动翻板阀手柄，关闭翻板阀。 图4 隔离阀手柄 ⑬、上升上炉体至上限位，上升晶体至上炉体内。转动晶棒托架，通过【...
