一次清洗影响因素 1
温度 温度过高,首先就是 IPA 不好控制,温度一高,IPA 的挥发很快,气泡印就会随之出现,这样就大大减少了 PN 结的有效面积,反应加剧,还会出现片子的漂浮,造成碎片率的增加
可控程度:调节机器的设置,可以很好的调节温度
时间 金字塔随时间的变化:金字塔逐渐冒出来;表面上基本被小金字塔覆盖,少数开始成长;金字塔密布的绒面已经形成,只是大小不均匀,反射率也降到比较低的情况;金字塔向外扩张兼并,体积逐渐膨胀,尺寸趋于均等,反射率略有下降
可控程度:调节设备参数,可以精确的调节时间
协助氢气的释放
减弱NaOH 溶液对硅片的腐蚀力度,调节各向因子
纯NaOH 溶液在高温下对原子排列比较稀疏的 100 晶面和比较致密的 111 晶面破坏比较大,各个晶面被腐蚀而消融,IPA 明显减弱NaOH 的腐蚀强度,增加了腐蚀的各向异性,有利于金字塔的成形
乙醇含量过高,碱溶液对硅溶液腐蚀能力变得很弱,各向异性因子又趋于 1
可控程度:根据首次配液的含量,及每次大约消耗的量,来补充一定量的液体,控制精度不高
NaOH 形成金字塔绒面
NaOH 浓度越高,金字塔体积越小,反应初期,金字塔成核密度近似不受NaOH 浓度影响,碱溶液的腐蚀性随 NaOH 浓度变化比较显著,浓度高的 NaOH 溶液与硅反映的速度加快,再反应一段时间后,金字塔体积更大
NaOH 浓度超过一定界限时,各向异性因子变小,绒面会越来越差,类似于抛光
可控程度:与IPA 类似,控制精度不高
Na2SiO3 SI 和NaOH 反应生产的 Na2SiO3 和加入的 Na2SiO3 能起到缓冲剂的作用,使反应不至于很剧烈,变的平缓
Na2SiO3 使反应有了更多的起点,生长出的金字塔更均匀,更小一点 Na2SiO3多的时候要及时的排掉,Na2SiO3 导热性差,会影响反应