设 备 验 收 报 告设 备 名 称型号规格数量/套验收范围烘干烧结一体炉SJ-1400一台验收日期: 年 月 日技术规格(祥见附文）验收项目验收指标验收结果备注干燥区温控精度±2℃烧结区温控精度±2℃温度控制精度±10℃升温速率45℃/s冷却速率－90℃/s网带稳定性±2%烧结出口温度≤60℃气流稳定性±5%工艺效果验收单晶 50 方阻、多晶55 方阻烧结培训培训内容培训对象(签字)培训时间备注网带清洗设备操作日常维护/故障排查资料交付类型交接对象(签字)交接时间备注使用说明书关键部件说明书备品备件交接验收结论:意见和建议：甲方名称：中恒科技工艺代表：设备代表：工厂负责人：（盖章） 日 期：2024 年 月 日乙方名称：北京中联科伟达技术股份有限公司设备代表：现场负责人：日 期：2024 年 月 日设备验收报告附文一、 验收依据1、 年 月 日，甲、乙双方签订的 SJ—1400 型烘干烧结一体炉设备购销合同。2、 年 月 日，甲、乙双方签订的 SJ—1400 型烘干烧结一体炉设备验收细则.二、 验收项目1、干燥区温控2、烧结区温控3、温度控制精度4、升温速率5、冷却速率6、网带稳定性7、烧结炉出口温度8、气流稳定性9、工艺效果验证三、 验收标准、方法1.干燥区温控校验方法：将干燥区的 3 个温区温度进行设定,设定范围控制在 100~400℃之间，待温度稳定（需 30min)后,保温持续 4 小时,根据设定值与温控表测量出的实际值相比较得出该指标。验收标准：3 个温区温度波动控制在±2℃以内2.烧结区温控校验方法：将烧结区的 6 个温区温度进行设定，设定范围控制在 200~1000℃之间，待温度稳定（需 30min）后，保温持续 4 小时,根据设定值与温控表测量出的实际值相比较得出该指标.验收标准：6 个温区温度波动控制在±2℃以内3.温度控制精度校验方法：待正常工艺运行稳定后，使用 DataPAQ 测温仪进行温度测试,以同一硅片在炉内的多点温度曲线为检验手段。验收标准：温度曲线峰值温度控制在±10℃以内4.升温速率校验方法：待正常工艺运行稳定后，使用 DataPAQ 测温仪进行温度测试，记录硅片在炉内的温度曲线,以温度从 500－950℃温度上升的速率大小为检验手段。验收标准:最大正斜率为 45℃/s5.冷却速率校验方法：待正常工艺运行稳定后,使用 DataPAQ 测温仪进行温度测试，记录硅片在炉内的温度曲线，从 930－600℃的温度下降速率大小为检验手段.验收标准：最大负斜率为－90℃/s6.网带稳定性校验方法：对网带速度...
