理工大学继续教育学院本科毕业论文（设计）学习中心：信息职业技术学院学 号：0姓 名： 许嘉佳 专 业： 电子科学与技术 指导老师： 红 2015 年 3 月 13 日本科毕业论文（设计）指导老师指导意见表学生： 许嘉佳 学号：0 专业：电子科学与技术毕业设计（论文）题目：UT1100 光刻机报警灯设计与安装 指导老师意见：（请对论文的学术水平做出简要评述。包括选题意义；文献资料的掌握；所用资料、实验结果和计算数据的可靠性；写作规和逻辑性；文献引用的规性等。还须明确指出论文中存在的问题和不足之处。）指导老师结论：（合格、不合格）指导老师所在单位指导时间 本科毕业设计（论文）评阅老师评阅意见表学生： 许嘉佳 学号：0 专业：电子科学与技术毕业设计（论文）题目：UT1100 光刻机报警灯设计与安装 评阅意见：（请对论文的学术水平做出简要评述。包括选题意义；文献资料的掌握；所用资料、实验结果和计算数据的可靠性；写作规和逻辑性；文献引用的规性等。还须明确指出论文中存在的问题和不足之处。）修改意见：（针对上面提出的问题和不足之处提出具体修改意见。评阅成绩合格，并可不用修改直接参加答辩的不必填此意见。）毕业设计（论文）评阅成绩 （百分制）：评阅结论：（同意答辩、不同意答辩、修改后答辩）评阅人所在单位评阅时间论文原创性声明本人重声明：本人所呈交的本科毕业论文《UT1100 光刻机报警灯设计与安装》是本人在导师的指导下独立进行讨论工作所取得的成果。论文中引用他人的文献、资料均已明确注出，论文中的结论和结果为本人独立完成，不包含他人成果与使用过的材料。对论文的完成提供过帮助的有关人员已在文中说明并致以意。本人所呈交的本科毕业论文没有违反学术道德和学术规，没有侵权行为，并同意承担由此而产生的法律责任和法律后果。 论文作者（签字）： 许嘉佳日期：2024 年 3 月 13 日目 录一、背景概述二、评估方案三、各阶段具体工作四、附件（工作计划）五：控制器组装安全六：设计总结七：致八：参考文献一 背景概述ULTRATECH_STEPPER 是美国上世纪 80 年代研发的光刻机，在国半导体 制 程 中 ， 相 对 ASML,NIKON 份 额 较 少 ， 但 是 在 LED 工 艺 制 程 中ULTRATECH_STEPPER 研制出适合 LED 工艺制程的 Stepper,所以在 LED 市场上占有一席之地，但因设备老旧故障频率较高，性能不稳定。我司有近 9 台该设备仅配备一个作业员操作...
