內 層 製 程 試 車 作 業 規 範一、目的---------------------------------------------------------------1二、說明---------------------------------------------------------------3三、設備點檢項目----------------------------------------------------4四、測試項目----------------------------------------------------------5一、目的測試新進設備品質和製程能力，為現場量產做準備二、說明內層試車計畫包含伍個主要設備，清單如下：（1）裁板機（2）前處理線（3）壓膜機（4）曝光機（5）後處理製程試車計畫由相關製程負責 PE 編製,交付工程部、製造部与品保部會簽，會同相關製程的各部負責人共同配合執行。測試板與小量產規定(1) 測試板數量: 20-100PNL ,尺寸:接近設備最大設計尺寸,板厚:無特别要求時 40-60mil.(2) 小量產數量 3-10 lot(150PNL/lot) 三 設備點檢項目設備名稱設備點檢項目結果備註層前處理機械傳動是否正常，有無跳輪、卡板、傳送偏移現象噴嘴是否有堵塞、歪斜溫度顯示與實際溫度是否相符各段之間信號傳輸、配合以与感應、添加、警報是否正常設備有無漏液現象設備各表頭顯示是否符合實際壓膜機械傳動是否正常，有無跳輪、卡板、傳送偏移現象機台各部分是否運轉正常、符合規格要求曝光機械傳動是否正常，有無跳輪、卡板、傳送偏移現象機台各部分是否運轉正常、符合規格要求DES機械傳動是否正常，有無跳輪、卡板、傳送偏移現象噴嘴是否有堵塞、歪斜溫度顯示與實際溫度是否相符各段之間信號傳輸、配合以与感應、添加、警報是否正常設備有無漏液現象設備各表頭顯示是否符合實際 四 測試項目 制 程站別 項 目測試標準測試結果備註層裁板尺寸精确度與設定值相差 2mm板边無 BURR无 BURR一次裁切厚度30mm層前處理水破實驗>=30s微蚀測試 40±10μ〞烘干測試無水痕殘留传動測試無卡板、無刮傷板面清洁度无异物內層壓膜線設備傳送無卡板、氣泡、膜皺幹膜對準度幹膜距板邊 2±1mm板出溫度60±5℃溫度均勻性左中右溫差小於 7℃內層曝光線設備傳送無卡板曝光能量6.0±0.5 格曝光均勻性自動 85%↑CCD 對位精准度偏差 1 mil真空度22inHg↑DES 線設備傳送無卡板，無刮傷顯影 PH 值10.6↑顯影點50%±5%解析度/附著力55μm /55μm氯化銅測試無亮點銅面存在蝕刻點70%±5%蝕刻均勻性10%↓蝕刻因數3↑去膜點40%±5% 項 目測試標準尺寸精确度量测尺寸符合机台设定板边無 BURR无 BURR一次裁切厚度...
