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智能电容式传感器的国内外现状与发展趋势

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硕士讨论生课程《智能传感器技术》(考查)自选课题2010 年 5 月 24 日 智能电容式传感器的国外现状与进展趋势The Current Situation And Tendency ofDyadic Intelligence Capacitance Sensor at Home and Aboard摘要电容式传感器是把被测量转换为电容量变化的一种传感器。它不但广泛应用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量,而且还逐步地扩大,应用于压力、液面、料面、成分含量等方面的测量。这种传感器具有结构简单、灵敏度高、动态响应特性好、适应性强、抗过载能力大与价格便宜等一系列优点,因此,占有很重要的地位。文中主要介绍了电容式感器的结构原理、性能改善、测量电路、应用与其进展。关键词电容式 智能化 测量电路AbstractCapacitive sensor is a sensor which convert the measurements into the change of capacitances.It is not only widely used in displacement,virbration,angle,acceration and other precision measurement of mechancial energy,but also gradually expanded,applied in pressure,surface,material surface,ingredients and other measurements.The sensor has a series of advantages such as simple structure,high sensitivity,good dynamic response,adaptability,strong anti-overload and low cost.Therefore,capacitive sensor plays an important role.The paper introduces structure principle,performance improvement,measurement circuits,application and development of capacitive sensor.Keywords capacitive intelligent measurement circuits目 录绪论 2第一章电容式传感器的结构原理 21.1 变间隙式电容传感器 31.2 变面积式电容传感器 61.3 变介电常数式电容传感器 81.4 差动电容传感器 10第二章电容式传感器的特点与应用中存在的问题 102.1 特点 102.2 应用中存在的问题 11第三章电容式传感器的测量电路 143.1 运算放大器式电路 143.2 电桥电路 153.3 调频电路 163.4 谐振电路 173.5 脉冲宽度调制电路 18第四章电容式传感器的应用 214.1 电容式位移传感器 214.2 电容式压力传感器 214.3 电容式加速度传感器 224.4 电容式液位传感器 234.5 电容式荷重传感器 244.6 电容式测厚仪 25第五章电容式传感器技术向智能化方向进展 26小结...

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