涡轮分子泵运转时值得注意的问题1、返流涡轮分子泵具有提供超清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力,故常被用户选用。然而,用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境。经调查发现碳氢化合物的来源,50%是操作失误所带来的问题,如涡轮分子泵的前级泵为油封式旋片泵时,没有控制返流的安全阀,不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流,不合要求的安全阀也会引起油污染。为了在系统中实现无碳氢化合物这一要求,在前级泵不是干式泵的情况下,有必要了解涡轮分子泵的压缩比及如何给泵充气的一些基本知识。2、压缩比涡轮分子泵的压缩比是指前级管道(排气口处)的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同,泵对各种气体的压缩比也不同。气体分子量 M 的平方根与压缩比 K 的关系如图 6 所示,泵对氢的压缩比很小,一般为 1000 左右,这样一来如果前级管道中氢的压力为 1×10-7Torr(13.33μPa),那么进气口处氢的压力则小 1000 倍,即为 1×10-10Torr(13.33nPa)。由于氢是超高真空系统中主要的残余气体,所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。涡轮分子泵对于大分子量的气体,如对那些碳氢化合物分子的压缩比是相当大的,一般高于 1012。这个比值根据不同泵,以及不同分子量而不同,由于前级泵的不同和其它因素,涡轮分子泵的前级管道中的碳氢化合物的分压力在 10-4Torr(13.33mPa)~10-6Torr(133.3μPa)之间,在这种条件下,在泵的入口处碳氢化合物的分压力将低了 1012 倍,即为 10-16Torr(13.33fPa)或更低。这样几乎是无限小的压力,已超出了可测量的范围,即使最灵敏的质谱仪也难以测出。3、充气措施(1)为什么要充气当涡轮分子泵关闭或运转极慢时,泵将不再有足够大的压缩比(泵内压力梯度)来阻止前级侧存在的碳氢化合物通过涡轮叶片向真空室进行返流。这种现象称作反扩散或分子返流。在静态条件下,整个系统的压力均衡时,在前级管道侧,油的分压力通常为 10-4~10-6Torr(或 13.33mPa~133.3μPa)最后也会波及到泵的入口处。当泵关闭时,适当地给泵内充气是控制油分子返流,保持真空室内无碳氢化合物的一种有效的措施。当停泵后,碳氢化合物返流很快通过泵进入真空室内,如果系统仍保持在真空状态下,碳氢化合物将会粘在清洁的叶片和真空室的表面上。在随后再运转该系统时,将极难抽除粘着的碳氢化合物。另一方面,在涡轮分子泵停止运转时,如果给泵充入干燥氮气或干燥...