三氯氢硅防火防爆对策在三氯氢硅生产的各个工序中，为了防止火灾、中毒，要严格执行各项消防安全制度，严格控制工艺指标，严格操作章程。加强对设备管道的维护保养，严格防范跑、冒、滴、漏。具体预防措施如下：1、火源管理。在生产中进行检测、修理时使用的工具应该是不产生火花的工具，严禁用铁器敲打设备或管道，工作人员应穿棉制品工作服。生产和贮罐区禁止明火，生产中动火要严格执行有关安全管理制度。2、防止跑、冒、滴、漏。生产过程当中产生的大都是易燃易爆有毒物质，生产设备、工艺管道和贮罐假如发生泄漏极易酿成火灾、爆炸和中毒事故。因此，日常性工作中要做好安全检查，不留死角，设备要定期检测、修理，发现问题及时实行补救措施，修复存在跑、冒、滴、漏的部位。3、配置应急工具和消防设施。应该配备一定数量的防毒面具、自给式空气呼吸器、手套、堵漏工具。应急队的人员要常常进行演习，熟练掌握各种情况下的堵漏方法和处置措施。贮罐区常备干砂的量最好不少于一个贮罐的容积，厂内仓库存放一定的水泥作应急之用。配备一定数量的手提式二氧化碳和干粉灭火器。4、生产工艺中的防火防泄漏措施。（1）三氯氢硅的合成、除尘和精馏工段。HCl 气体缓冲罐与合成炉之间应设止回阀，防止合成炉的 SiHCl3 回到缓冲罐。应控制 HCl 气体的流量，控制合成炉内的温度。对设备管道要常常进行维护保养，防止三氯氢硅泄漏。在生产中要保持整个系统的密闭，用 99．99％的氮气进行保护。（2）三氯氢硅的储存。三氯氢硅的沸点较低，需在低温下储存，三氯氢硅的贮罐设置低温保护装置和降温措施。由于三氯氢硅有潜在的燃烧爆炸危险，所以它的贮罐应与生产装置要有一定的防火间距，并且要设防火堤，降温水的排放管道经过防火堤处要设闸阀。贮罐应设静电接地装置和避雷装置。贮罐内的气相要与氮气系统相连进行保护，贮罐的气相与外部连通的平衡管（放空管）应与尾气回收系统相连，不能直接排空，并应设止回阀和阻火器。贮罐区应设一个备用罐，紧急情况下应将泄漏的贮罐内的物料转移至备用罐，防止大量泄漏。
