应急设备的维护和检查有效的维修计划也是工厂安全操作的组成。它的基本原理是事前预防事故的发生,而不是通过补救行动来纠正。具备预防性的维修计划是根据已知部件的失效频率对关键设备定期检查。制定维修计划可根据如下步骤：确定设备中物料的数量、毒性、可燃物和腐蚀性辨识关键设备（尤其是那些失效会导致紧急状态的设备）确定操作条件评价设备情况、使用期限和维修水平确定操作严格性（例如高压）和开车、停车周期的频率从以前历史记录，制造商提供的失效率和根据设备组件失效率进行分析确定出设备平均失效率制定测试程序和方法根据检查成本、替换成本、停机检测时间、失效停机间、失效后果分析、推举程序和法律要求评估最佳检测或替换周期确定预防性最佳维护频率是很具挑战性的工作，它要求对失效率数据连续重复评估。由富有经验的人员组成小组进行常常监察和测试来制定维修计划。这个任务费时耗资，它包括检查设备和进行各种测试，通常检测是非破坏性的：通常安全事故隐患的早期标志是：泄漏开裂腐蚀振动运动件和设备的磨损缺陷工艺流体流量或公用工程条件的变化这些缺陷不仅由于正常或异常设备操作和环境条件（如极度温度或湿度），也可能来自先前维修保养不善。因而由专门人员进行设备修理是极为关键的。对于压力容器特别要注意。压力容器法律规范给出了被批准人员进行维修和焊接工作时明确的程序。在恢复正常运转前，维修设备应该根据规程规定程序进行测试。最后应当注意的是维修和监察计划应该包括所有工艺设备和异常情况下启动的安全装置。例如泄压阀，需要定期检测，爆破片也要定期检查以确认爆破片完整，尽管失效频率较低但仍要定期进行预防性替换。其它安全设备，如预备应急泄漏减缓设备（例如，火炬吸收器或循环泵）也应该进行同样检查程序。
