SMT设备数据采集SEMI通讯指令介绍录⽬1.SECS/GEM总框架介绍(2)2.SECS-II消.息分类及功能(4)3.SML语⾔(5)4.HSMS介绍(7)3.1.HSMS报格式⽂(8)3.2.HSMS的状态(14)3.3.HSMS的通信流程以及超时处理(15)5.GEM标准模型介绍(18)5.1.GEM通信状态模型(19)5.2.GEM定义的产设备能⽣⼒(23)5.2.1.状态参数收集(24)5.2.2.事件报告收集(24)5.2.3.报警管理(29)5.2.4.远程控制(32)6.指令集(33)6.1.建连接⽴(33)6.2.获取产设备的状态参数⽣(33)6.3.报警信息(33)6.4.在线模式(34)6.5.离线模式(34)1/342/341.SECS/GEM总框架介绍SEMI通信标准模型SECS/GEM定义了半导体产设备与主机之间、各产设备⽣⽣之间的通信规范。其中SECS-I与HSMS处于模型的最底层，提供了半导体设备通信的链路层规范，⽣SECS-I协议是基于R232串链路，⾏HSMS是基于TCP/IP(261:SECS-II定义了半导体产设备与主机之间消息的通信格式、规范与内容；⽣GEM则定义了半导体产制造过程中的通情景下的交互为整个标准型如图⽣⽤⾏2-1所，这些标准为别定义在⽰E4、E5、E30、E37的SEMI标准编号中SECS-I基于串链路的半导体产设备点对点通信标准，定义了包括物理连⾏⽣接，传输包格式，传输速率等物理层和数据链路层特性。SECS-II，定义了半导体产设备通信会话与消息的数据格式以及通信内容。⽣其中通信内容包括设备状态、设备控制、物料状态、物料控制、过程处理、配管理、报警事件处理等。⽅GEM，定义了户应层的通设备模型，该模型基于⽤⽤⽤SECS-II消息，它定义了套通的半导体产设备为、交互机制和典型的应情景。⼀⽤⽣⾏⽤HSMS，定义了基于以太⽹TCP/IP协议的半导体产设备通信标准，与⽣SECS-I样处于协议最底层，其作是替代⼀⽤E4标准，其主要于速链路的数据通信需求。⽤⾼习所：⽰每层协议所实现的功能如下图23/342.SECS-II消·息分类及功能SECS-II定义了传输消息的报格式和表内容，叫做⽂⽰StreamFunction报格式。所有的消息都⽂⽤SxFy表，其中⽰x为Stream数字值，y为Function数字值。SECS-II协议中以Stream来区分不同信息的种类，再以Function来区分同种信息下的⼀不同活动的含义。下表2-1列出了SECS-II的信息分类以及活动，关于所有定义的Stream以及Function详情，请见SEMIE5标准。表2-1部分消息分类以及活动定义由上表定义可以看出stream所定义的消息分类，例如：1)Stream1定义的是产设备相关的状态参数；⽣2)Stream2定义了对产设备的控制与诊断，远程控制及报告的定⽣义：3)Stream5定义了产设备报警的相关内容；⽣4)Stream6定义了数据的收集，包括产设备产任何事件时所发⽣⽣送的报告信息；5)Stream7定义了产设备程序的管理；⽣6)Stream9则定义了错误信息处理。Function则定义的是某种⼀Stream中的活动，例如：1)S1F3是主机要求获取产设备的状态参数；⽣2)S1F4则是由产设备把状态参数返回给主机；⽣3)S1F17是主机要求产设备⽣ONLINE；4)S1F18则是返回ONLINE的结果。SECS-II的消息SxFy报通常成对出现，分别称为⽂PrimaryMessage和SecondaryMessage，其中PrimaryMessage的Function为奇数，为发送端发出的消息，SecondaryMessage的Function为偶数，是作为PrimaryMessage的返回消息进发⾏送。secondaryMessage的Stream与PrimaryMessage的Stream相同，⽽Function为PrimaryMessage的Function数值加1。3.SML语⾔SML(SECSMessageLanguage)是种描述⼀SECS消息以及数据结构的符号性语，最早由⾔GW联合公司开发。它常类似⾮与SECS-II标准档中的符号描述，对于⽂SECS-II标准消息及数据的描述，它具有更准确、通易懂的优势。⽤SML语最早在⾔E3．0298标准中使，前经在半导体业中量使。⽤⽬⼰⼯⼤⽤SML语的格式如下所：⾔⽰SxFyWitems其中S代表stream，F代表Function，后的⽽x、y表体的⽰⾙Stream以及Function的类别，例如S1F1，表⽰Stream1以及Function1。W表条⽰⼀SECS消息是否需要对送回来的返回结果，如果需要返回结果，则设置⽅W:否则，不设置W，它是⼀个可选项，通常写为[W]最后的“．”表消息的结束。例如，⽰S1F1这条消息不包含数据项，则写为：S1F1W.Items则是表⽰SECS消息中的数据项，其描述的格式为：每个数据项，都包含在对尖括号当中，就像⼀...
