CT扩散炉结构简介讲义

CT 扩散炉结构简介基本构成— centrotherm Centrotherm 扩散炉机台主体由装载系统， TGA ，炉体部分和气源柜四部分组成。其各部分功能如下： 1. 装载系统：用于将上料台上的石英舟及未扩散硅片送入炉内，以及将扩散完成的硅片传送到上料台。 2.TGA （ Toxic Gas Exhaust ）：用于驱动炉门，吸收在进舟和出舟过程中可能泄漏出来的有毒气体。 3. 炉体部分：机台的核心部分，由五个炉体及相关的电源系统和控制系统组成。 4. 气源柜：用于提供扩散工艺过程所需的各种工艺气体，以及将扩散过程中产生的尾气通过酸排风系统排出。炉体部分— centrotherm 炉体部位包含炉体，控制柜和电源柜三个部分。 炉体部位包含五根炉管，控制柜里面包含着负责工艺程序执行的 CESAR 电脑 ,CMS和温度控制器，电源柜负责供给整个机台所需的动力电源。控制柜动力柜炉体控制柜动力柜CCC 电脑放置处动力柜动力柜中的变压器机体温度监控CCC 控制电脑与 CMS CCC 控制电脑（ Cell Control Computer ）中包含用于创建和管理 recipe 的软件 CCC-RM （ Centrotherm Cell Control Recipe Manager ） , 用于对 CESAR 电脑进行集中控制。 CMS （ central machine safety ），错误监视单元，用于监视炉内，炉外，炉体及电路的温度和冷却系统的工作状况，并将结果显示在 CMI 电脑用户界面上。CMSCCC 电脑CESAR控制电脑温度控制器CESAR 控制电脑 ( 每个炉管有一个 ): 其作用为：创建或更改 recipe ， 定义 recipe 变量（工艺时间，温度，压力，气流）， start ， stop and cancel recipe ，数字控制温度，控制气流，装载机组参数设置，与装卸系统进行通讯，监视报警 / 中断状况（气流，温度，压力），通过级联控制器控制温度，通过级联温度控制进行自动拉温，存储一定数量的 recipe ，记录用户定义的工艺数据，对正在运行的工艺进行测试（执行工艺步骤，更改变量，设置 / 重置停止点等）温度控制器（每个炉管有一个）： 采用 REG97 温度控制器，硬件部分由 controller ， transducer ， pulse skipping unit 组成。控制柜动力柜UPS 电源炉体电力配置箱，变压器动力柜，控制柜，炉体与变压器分布Spike TC温度测量模块Spike TC 供电超温监控CMS （机器安全系统）冷却水管接口冷却水管接口Spike TC炉体情况接线柱Spike TCSpike TC （包含两根热偶，一根用于超温报警，一根用于工艺控温...